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소개
에어로텍의 ANT 시리즈 스테이지는 세계의 첫 25mm보다 더 큰 이동구간의 나노미터급 위치 시스템입니다. ANT95-L-Z 및 ANT95-L-Z-PLUS크로스 롤러 스테이지는 속도, 정확도, 해상도, 반복도, 신뢰도, 크기를 통합하여 가장 우수하고, 두 급의 정확성을 제공받습니다. ANT 스테이지 부류의 발전으로써, 이러한 리니어 스테이지는 에어로텍의 ANT시리즈 첫 세대의 고급 모션 성능을 나타냅니다.
비접촉 다이렉트 드라이브
본래의 모든 ANT시리즈 다이렉트 드라이브 이점은 ANT95-L-Z부류를 지켜왔습니다. 오직 비접촉 다이렉드 드라이브 기술은 정밀 장치의 대량 생산에 필요한 로우버스트, 정확도, 고속 위치를 제공합니다. ANT95-L-Z스테이지는 고정밀위치, 디스크드라이브 제작, 섬유 정렬, 광학 지연 요소 발동작용, 센서 테스팅, 매끈하고 정밀한 모션을 요구하는 스캐닝 과정에 대해 가장 높은 수준의 위치 성능을 내기 위해 에어로텍에 의해 개척된 고급 다이렉트 드라이브 기술을 이용합니다.
ANT95-L-Z스테이지는 모터 발열을 최소화하는 동안 성능 등급을 유지하기 위해서 거의 마찰력 없는 균형 기계를 사용합니다. 균형은 0에서 5kg 사용자입니다.
유연한 시스템 설계
ANT95-L-Z부류는 쉬운 시스템 조립을 가능하게 하는 일반적인 설치 및 테이블탑 패턴을 가지고 있습니다. 2축, 3축, 더 많은 축은 유연한 시스템 설계 및 다축 조성에 쉽게 결합될 수 있습니다.
시스템 특징
뛰어난 정확도, 위치 반복도, 정위치 안정도는 높은 시스템 해결책을 요구합니다. ANT95-L-Z 스테이지의 선두 산업 2nm 최소 증가 단계 사이즈는 높은 수준의 성능을 제공합니다. 훌륭한 정위치 안정성은 고급, 안티 크립, 크로스 롤러 베어링에 의해 지원받습니다. 스테이지는 제품 수명에서 사실상 유지보수가 없는 작동을 제공합니다. 에어로텍의 다이렉트 드라이브 기술은 이력현상 또는 백래쉬가 없으며, 정확하고 반복적인 나노미터급 모션을 가능하게 합니다.
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| Travel |
25 mm
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25 mm
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50 mm
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50 mm
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| Accuracy(1) |
±4.0 μm
(±160 μin) |
±300 nm
(±12 μin) |
±4.0 μm
(±160 μin) |
±300 nm
(±12 μin) |
| Resolution |
2 nm
(0.08 μin) |
2 nm
(0.08 μin) |
2 nm
(0.08 μin) |
2 nm
(0.08 μin) |
| Repeatability
(Bi-Directional)(1) |
±100 nm
(±4 μin) |
±75 nm
(±3 μin) |
±100 nm
(±4 μin) |
±75 nm
(±3 μin) |
| Repeatability
(Uni-Directional) |
±50 nm
(±2 μin) |
±50 nm
(±2 μin) |
±50 nm
(±2 μin) |
±50 nm
(±2 μin) |
| Straightness(1) |
±2.25
μm (±90 μin) |
±2.25
μm (±90 μin) |
±3.0 μm
(±120 μin) |
±3.0 μm
(±120 μin) |
| Flatness(1) |
±3.5 μm
(±140 μin) |
±3.5 μm
(±140 μin) |
±4.0 μm
(±160 μin) |
±4.0 μm
(±160 μin) |
| Pitch |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
| Roll |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
| Yaw |
5 arc
sec |
5 arc
sec |
5 arc
sec |
5 arc
sec |
| Maximum Speed
|
200
mm/s (8 in/s) |
200
mm/s (8 in/s) |
200
mm/s (8 in/s) |
200
mm/s (8 in/s) |
| Maximum
Acceleration |
1 g -
10 m/s2 (No Load) |
1 g -
10 m/s2 (No Load) |
1 g -
10 m/s2 (No Load) |
1 g -
10 m/s2 (No Load) |
| In-Position
Stability(2) |
<2
nm (<0.08 μin) |
<2
nm (<0.08 μin) |
<2
nm (<0.08 μin) |
<2
nm (<0.08 μin) |
| Maximum Force
(Continuous) |
7.75 N
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7.75 N
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9.5 N
|
9.5 N
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| Load
Capacity(3) |
Vertical |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
| Moving Mass |
0.46 kg
(1.0 lb) |
0.46 kg
(1.0 lb) |
0.52 kg
(1.1 lb) |
0.52 kg
(1.1 lb) |
| Stage Mass |
1.9 kg
(4.3 lb) |
1.9 kg
(4.3 lb) |
2.5 kg
(5.5 lb) |
2.5 kg
(5.5 lb) |
| Material |
Aluminum
Body/Black Hardcoat Finish |
| MTBF (Mean Time
Between Failure) |
30,000
Hours |
Notes:
1. Certified with each stage.
2.
In-Position Jitter listing is 3 sigma value.
3. Axis orientation for on-axis
loading is listed.
4. Air supply must be clean, dry to 0°F dew point and
filtered to 0.25 μm or better; recommend nitrogen at 99.9% purity. Supply
pressure is determined by the amount of payload carried by the stage.
•
Specifications are per axis, measured 25 mm above the tabletop. Performance of
multi-axis systems is payload and workpoint dependent. Consult factory for
multi-axis or non-standard
applications.
• -PLUS requires the use of an
Aerotech controller.
| Drive System
|
Brushless
Linear Servomotor |
| Feedback |
Noncontact Linear Encoder |
| Maximum Bus
Voltage |
±40 VDC
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| Limit Switches
|
5 V,
Normally Closed |
| Home Switch
|
Near
Center |
| Multi-Axis |
A3200 |
Npaq-MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH |
| Ensemble |
Epaq-MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH |
| Single Axis
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Soloist |
Soloist
ML-MXH |
Notes:
1. Linear amplifiers are required to
achieve the listed specifications. Other options are available.
Note: To ensure the achievement and repeatability of
specifications over an extended period of time, environmental temperature must
be controlled to within 0.25ºC/24 hours. If this is not possible, alternate
products are available. Please consult Aerotech Sales Engineering for more
information.
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ANT95-25-L-Z/ANT95-25-L-Z-PLUS
ANT95-50-L-Z/ANT95-50-L-Z-PLUS
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ANT95-L-Z Series Vertical Stage |
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ANT95-L-Z |
Aerotech’s nanotranslation crossed-roller vertical
positioner
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Linear Stage Travel |
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ANT95-25-L-Z |
25 mm (1 in) vertical travel stage with proprietary direct-drive motor
technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits |
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ANT95-25-L-Z-PLUS |
25 mm (1 in) vertical travel stage with proprietary direct-drive motor
technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits (High Accuracy
Version) |
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ANT95-50-L-Z |
50 mm (2 in) vertical travel stage with proprietary direct-drive motor
technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits |
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ANT95-50-L-Z-PLUS |
50 mm (2 in) vertical travel stage with proprietary direct-drive motor
technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits (High Accuracy
Version) |
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Options |
|
-RH
|
Right-hand cable exit |
|
-LH |
Left-hand cable exit |
|
ANT95-L-Z
