Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > °í°´¸ÂÃ㠽ýºÅÛ
Áø°øȯ°æ
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¿¡¾î·ÎÅØ Áø°ø ÀÌÁ¡

 

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß °æÇè, ŸÀÇ ÃßÁ¾À» ºÒÇãÇÏ´Â Á¦Ç° ¹üÀ§, ±×¸®°í ±¤¹üÀ§ÇÑ ¿£Áö´Ï¾î¸µ ´É·ÂÀº ¿ì¸®¸¦ Áø°øȣȯ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛÀ» À§ÇÑ ¼±ÅÃÀÇ ÆÄÆ®³Ê·Î ¸¸µé¾î ÁÝ´Ï´Ù. óÀ½ ½ÃÀÛÇÑ ÀÌ·¡·Î ¿¡¾î·ÎÅØÀº ÃÖ°í ¼º´ÉÀÇ ¸ð¼Ç ÄÁÆ®·Ñ°ú À§Ä¡°áÁ¤ ½Ã½ºÅÛÀ» ¼³°èÇÏ°í »ý»êÇØ ¿ÔÀ¸¸ç, ¿ì¸®ÀÇ Áø°øȣȯ Ç÷§Æû¿¡µµ ¿¹¿Ü´Â ¾ø½À´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀº 30³â ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ µ¿¾È Ç¥ÁØ ¹× °í°´¸ÂÃãÇü Áø°ø ½Ã½ºÅÛÀ» ¸¸µé¾î ¿Ô½À´Ï´Ù. ¿ì¸®ÀÇ Áø°ø ÀÀ¿ëºÐ¾ß °æÇèÀº ±º»ç/Ç×°ø, ¿¬±¸, ¹ÝµµÃ¼ ±×¸®°í ¼ÒÀç°¡°ø ºÐ¾ß µîÀ» ´Ù·ç°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀüÇüÀûÀÎ ÀÀ¿ëºÐ¾ßµéÀº ´ÙÀ½°ú °°Àº ºÐ¾ß¸¦ Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù: 

¡Ü EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ
¡Ü ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ½ºÄ³´× (SEM)
¡Ü ÀÌ¿Â ºö ºÐ¼® 
¡ÜħÀü
¡Ü À§¼º ºÎÇ° ½ÃÇè
¡Ü Åõ°ú ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ (TEM)
¡Ü ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ
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¡Ü ¿¢½º·¹ÀÌ ´ÜÃþÃÔ¿µ

  

  

 

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Áø°ø ¿£Áö´Ï¾î¸µ Àü¹®Áö½Ä 

¿ì¸®ÀÇ ±¤¹üÀ§ÇÑ ½ÃÇè ´É·ÂÀº
¼±Àû Àü¿¡ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛ¿¡ ´ëÇÑ
¿Ïº®ÇÑ ´É·ÂÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
¿¡¾î·ÎÅØÀº °íµµ·Î °áÇÕµÈ
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¿ÏÀüÇÑ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛÀ»
¿Ïº®È÷ ÃÖÀûÈ­ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
°í°¡¼Ó ½Ã½ºÅÛÀ» À§ÇØ,
¿¡¾î·ÎÅØÀº ¿­Àû ¸ðµ¨¸µ°ú
½ÇÁ¦ÀûÀÎ °æÇè¿¡ ±â¹ÝÇÑ
¸î °¡Áö ´Éµ¿Àû ³Ã°¢ ¿É¼ÇÀ»
º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

  

ÀÚ±âÀå¿¡ ¹Î°¨ÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦ À§ÇØ,  ¿¡¾î·ÎÅØÀº ÀÚ±âÀå Â÷Æó¿Í ¾ïÁ¦ ¼ö´Ü¿¡ ´ëÇØ ±¤¹üÀ§ÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ´ÙÀç´Ù´ÉÇÏ°í Çå½ÅÀûÀÎ ¿£Áö´Ï¾î¸µ ½ºÅܵéÀº ´ÙÀ½°ú °°Àº ¸ð¼Ç ±â¼ú ºÐ¾ßÀÇ ¸ðµç ÇÙ½É Àü¹®Áö½ÄÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

¡Ü Á¤¹Ð ±â±â ¼³°è 
¡Ü Áøµ¿ ¹× Á¦¾î
¡Ü ÀÚ±â ȸ·Î ¼³°è
¡Ü Àü·ÂÀüÀÚ ¼³°è
¡Ü ¼­º¸ ½Ã½ºÅÛ
¡Ü ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î °³¹ß 

 

¿¡¾î·ÎÅØÀº UHV ½Ã½ºÅÛ °Ç¼³¿¡
ÀÌ»óÀûÀ¸·Î Á¦¾îµÈ ȯ°æÀÎ
ISO Class 6 Ŭ¸°·ëÀ» Æ÷ÇÔÇÑ
´ë±Ô¸ðÀÇ »ý»ê ½Ã¼³À» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
¿ì¸®ÀÇ ±â°è °øÀåÀº
Áø°øȣȯ ºÎÇ°À» »ý»êÇϴµ¥
¿Ïº®ÇÑ ÀÚ°ÝÀ» °®Ãß¾ú½À´Ï´Ù.
¿ì¸®´Â Áø°ø ½ÇÇè½Ç°ú
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±×¸®°í ¿ÏÀüÈ÷ ÈƷõÈ
Á¶¸³ ¹× Å×½ºÆ® ½ºÅÇÀ»
º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

 
 

 

 

 Áø°ø ½ºÅ×ÀÌ¡ ¼³°è ¿ä¼Ò 

´Ù¾çÇÑ Ç¥ÁØ ¿¡¾î·ÎÅØ ½ºÅ×ÀÌÁö Á¦Ç°µéÀº
Áø°ø Áغñ ¹öÀü¿¡¼­ »ç¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
Ç¥ÁØ Ç÷§Æû »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó
¿¡¾î·ÎÅØÀº Á¤±âÀûÀ¸·Î
ƯÁ¤ÇÑ ¿ä±¸°¡ ÀÖ´Â ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦
¸¸Á·½ÃÅ°±â À§ÇØ ¼³°èµÈ
°í°´¸ÂÃãÇü ½Ã½ºÅÛÀ» Á¦ÀÛÇÕ´Ï´Ù.
¸ðµç ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Áø°ø ȣȯ ¸ð¼Ç Ç÷§ÆûÀº
³Ã¸Åȸ¼ö ½Ã°£, °ø°£ ¿À¿°,
±×¸®°í ¿­ ¹®Á¦¸¦ ÁÙ¿©ÁÝ´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ ÀÌ·¯ÇÑ ½Ã½ºÅÛÀº
ÀÚ±âÀå °¨¼Ò¿Í °°Àº
ÁÖ¿ä ÀÀ¿ëºÐ¾ß °í·Á»çÇ×À»
Æ÷ÇÔÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

 
 

 

 ¿¡¾î·ÎÅØÀº ´ÙÀ½°ú °°Àº ºÐ¾ß¿¡ Á¤ÅëÇÕ´Ï´Ù:

 

¡Ü ÀÚÀç ¼±Á¤
¡Ü Ç¥¸éó¸®
¡Ü °¡»ó ´©¼³ Á¦°Å
¡Ü À±È°À¯ ¼±Á¤
¡Ü Å¬¸®´×
¡Ü º£ÀÌÅ©¾Æ¿ô
¡Ü Á¶ÀÛ, ó¸®
¡Ü ¿­ Á¦¾î
¡Ü ÀÚ±âÀå Á¦¾î
¡Ü Æ÷Àå

 

 

 ¿¡¾î·ÎÅØ¿¡¼­ ÀÌ¿ë °¡´ÉÇÑ Áø°ø ¿É¼Ç

 

 

 

ÀÚÀç ¼±Á¤

 

¼±Åà °¡´ÉÇÑ ¼ÒÀç´Â Áø°ø ¼öÁØ, ÀÀ¿ëºÐ¾ß, µ¿ÀÛ ¿Âµµ µî¿¡ ¸Å¿ì ¹Î°¨Çϱ⠶§¹®¿¡ ¿¡¾î·ÎÅØÀº TML(Total Mass Loss)¿Í CVCM(Collectible Volatile Condensable Materials)À» Á¦¾î ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´Ù¾çÇÑ ¹üÀ§ÀÇ ¿É¼ÇµéÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

¡Ü À±È°À¯: ³·Àº Áõ±â ¾Ð·Â À±È°À¯´Â °í°´ÀÇ °øÁ¤ ¹×
               Áø°ø ¼öÁØ°ú ȣȯµÇ±â À§ÇØ ¼±Á¤µË´Ï´Ù.

¡Ü CMS(Cable Management System):
    CMS ±¸¼º°ú ¼ÒÀç´Â PEEK¢â¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ°í ÀÖ´Â ´Ù¾çÇÑ
    ¼ÒÀ縦 È°¿ëÇϴ ƯȭµÈ Àü±âÀû Ä¿³ØÅÍ¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î
    ´ëüÀûÀ¸·Î Teflon¢ç Àý¿¬¼±(MIL-C-27500) ¶Ç´Â 
    KaptonÀ» È°¿ëÇÕ´Ï´Ù.

¡Ü Ç¥¸é ¸¶°¨: Ç¥¸é ¸¶°¨ ¿É¼ÇÀº ¹«ÇǺ¹ ¾Ë·ç¹Ì´½, ¹«ÀüÇØ
                   ´ÏÄÌ, ½ºÅ×Àθ®½º ½ºÆ¿, ¶Ç´Â Áø°ø ȣȯ
                   ÆäÀÎÆ®(Aeroglaze Z306)¸¦ Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù.

¡Ü Çϵå¿þ¾î: ½Ã½ºÅÛÀº ¸ðµç ºí¶óÀεå ȦÀ» À§ÇØ through-
                  holes ¶Ç´Â ±¸¸Û ¶Õ¸° ½ºÅ×Àθ®½º ½ºÆ¿ Á¶ÀÓ
                  ÀåÄ¡¸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù.

 
 

 ¿¡¾î·ÎÅØÀº ½Ã½ºÅÛÀÌ °¡½º ¹æÃ⠿䱸 Á¶°ÇÀ» ¸¸Á·½ÃÅ°°Å³ª ¶Ù¾î³Ñ´Â °ÍÀ» º¸ÀåÇϱâ À§ÇØ Ç×»ó ¿ì¸®ÀÇ °í°´µé°ú °¡±îÀÌ¿¡¼­ ÀÏÇÕ´Ï´Ù.

 

 

¼³°è ¿ä¼Ò

 

 

 

 ¿­ °ü¸® 

¸ðÅÍ¿Í º£¾î¸µÀ¸·ÎºÎÅÍÀÇ ¿­À» Á¦°ÅÇϴµ¥¿¡´Â
´ë·ù¿¡¸¸ ÀÇÁöÇÒ ¼ö ¾ø±â ¶§¹®¿¡
¿­ °ü¸®´Â Áø°ø ½Ã½ºÅÛÀÇ ÇÙ½ÉÀÔ´Ï´Ù.
¿­°ü¸® ü°è ¾øÀÌ´Â,
½ºÅ×ÀÌÁö´Â °ø±â Áß¿¡¼­ °¡µ¿µÇ´Â
µî°¡ ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇØ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵǰí
Á¦Ç°¼ö¸íµµ °¨¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌ°ÍÀÌ ¿¡¾î·ÎÅØÀÌ ¿­ ºÐ¸® ¼ö´Ü°ú
´Éµ¿Àû/¼öµ¿Àû ³Ã°¢ ±â¼ú¿¡
»ó´çÇÑ ³ë·ÂÀ» ±â¿ïÀÌ´Â ÀÌÀ¯ÀÔ´Ï´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úµéÀº Àüµµ¿Í ³Ã°¢ÀÇ ¹æ»ç¼º ¸ðµå¸¦
ÃÖ´ëÈ­ ÇÏ´Â µ¥ µµ¿òÀ» ÁÖ°í,
°ø°£ ³» ¿­¿øÀ» ¾ø¾Ö°Å³ª ÁÙÀ̴µ¥ µµ¿òÀ» ÁÝ´Ï´Ù.

 
  

 

 

 ¼­º¸¸ðÅÍ 

¸®´Ï¾î ¹× ·ÎÅ͸® ¼­º¸¸ðÅÍÀÇ ¼³°è´Â
±×µéÀÌ ±âº»ÀûÀÎ ¿­¿øÀ̱⠶§¹®¿¡
Áø°ø ½Ã½ºÅÛ ¿î¿µ¿¡ ¸Å¿ì Áß¿äÇÕ´Ï´Ù.
ÀÌ°ÍÀÌ ¹Ù·Î ¿¡¾î·ÎÅØÀÌ
ƯÈ÷ Áø°ø¿¡¼­ÀÇ ¸ðÅÍ¿¡ ´ëÇÑ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ
¸ðÅ͵éÀ» ¼³°èÇÏ°í ±¸ÃàÇÏ´Â ÀÌÀ¯ÀÔ´Ï´Ù.
Ưº°ÇÑ Àç·á ±¸¼ººÎÅÍ ÀÚ±âȸ·Î ¼³°è±îÁö,
¿¡¾î·ÎÅØ ¼­º¸¸ðÅ͵éÀº
°¡½º ¹æÃâ ÃÖ¼ÒÈ­, ´ÜÀ§ üÀû´ç ³ôÀº Èû°ú ÅäÅ©,
±×¸®°í ±ä ¼ö¸í¿¡ ÃÖÀûÈ­ µÇ¾îÀÖ½À´Ï´Ù.

  

  

 


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
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