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에어로텍의 다양한 응용분야 경험, 타의 추종을 불허하는 제품 범위, 그리고 광범위한 엔지니어링 능력은 우리를 진공호환 모션 시스템을 위한 선택의 파트너로 만들어 줍니다. 처음 시작한 이래로 에어로텍은 최고 성능의 모션 컨트롤과 위치결정 시스템을 설계하고 생산해 왔으며, 우리의 진공호환 플랫폼에도 예외는 없습니다. 에어로텍은 30년 이상의 시간 동안 표준 및 고객맞춤형 진공 시스템을 만들어 왔습니다. 우리의 진공 응용분야 경험은 군사/항공, 연구, 반도체 그리고 소재가공 분야 등을 다루고 있습니다. 전형적인 응용분야들은 다음과 같은 분야를 포함합니다:

● EUV 리소그래피
● 전자현미경 스캐닝 (SEM)
● 이온 빔 분석
●침전
● 위성 부품 시험
● 투과 전자 현미경 (TEM)
● 이온 주입
● 광학 연마
● 과학 연구
● 엑스레이 단층촬영

에어로텍: 진공 모션 플랫폼을 위한 선택의 파트너

진공 엔지니어링 전문지식

우리의 광범위한 시험 능력은
선적 전에 모션 시스템에 대한
완벽한 능력을 제공합니다.
에어로텍은 고도로 결합된
모션 시스템 공급자로서,
완전한 모션 시스템을
완벽히 최적화 할 수 있습니다.
고가속 시스템을 위해,
에어로텍은 열적 모델링과
실제적인 경험에 기반한
몇 가지 능동적 냉각 옵션을
보유하고 있습니다.

자기장에 민감한 응용분야를 위해, 에어로텍은 자기장 차폐와 억제 수단에 대해 광범위한 경험이 있습니다. 에어로텍의 다재다능하고 헌신적인 엔지니어링 스텝들은 다음과 같은 모션 기술 분야의 모든 핵심 전문지식을 가지고 있습니다.

● 정밀 기기 설계
● 진동 및 제어
● 자기 회로 설계
● 전력전자 설계
● 서보 시스템
● 소프트웨어 개발

에어로텍은 UHV 시스템 건설에
이상적으로 제어된 환경인
ISO Class 6 클린룸을 포함한
대규모의 생산 시설을 가지고 있습니다.
우리의 기계 공장은
진공호환 부품을 생산하는데
완벽한 자격을 갖추었습니다.
우리는 진공 실험실과
완전한 현장 부품 클리닝 시설,
그리고 완전히 훈련된
조립 및 테스트 스탭을
보유하고 있습니다.

진공 스테이징 설계 요소

다양한 표준 에어로텍 스테이지 제품들은
진공 준비 버전에서 사용 가능합니다.
표준 플랫폼 뿐만 아니라
에어로텍은 정기적으로
특정한 요구가 있는 응용분야를
만족시키기 위해 설계된
고객맞춤형 시스템을 제작합니다.
모든 에어로텍의 진공 호환 모션 플랫폼은
냉매회수 시간, 공간 오염,
그리고 열 문제를 줄여줍니다.
또한 이러한 시스템은
자기장 감소와 같은
주요 응용분야 고려사항을
포함할 수 있습니다.

에어로텍은 다음과 같은 분야에 정통합니다:

● 자재 선정
● 표면처리
● 가상 누설 제거
● 윤활유 선정
● 클리닝
● 베이크아웃
● 조작, 처리
● 열 제어
● 자기장 제어
● 포장

에어로텍에서 이용 가능한 진공 옵션

자재 선정

선택 가능한 소재는 진공 수준, 응용분야, 동작 온도 등에 매우 민감하기 때문에 에어로텍은 TML(Total Mass Loss)와 CVCM(Collectible Volatile Condensable Materials)을 제어 할 수 있는 다양한 범위의 옵션들을 제공합니다.

● 윤활유: 낮은 증기 압력 윤활유는 고객의 공정 및
진공 수준과 호환되기 위해 선정됩니다.

● CMS(Cable Management System):
    CMS 구성과 소재는 PEEK™를 포함하고 있는 다양한
    소재를 활용하는 특화된 전기적 커넥터와 마찬가지로
   대체적으로 Teflon® 절연선(MIL-C-27500) 또는
    Kapton을 활용합니다.

● 표면 마감: 표면 마감 옵션은 무피복 알루미늄, 무전해
니켈, 스테인리스 스틸, 또는 진공 호환
페인트(Aeroglaze Z306)를 포함합니다.

● 하드웨어: 시스템은 모든 블라인드 홀을 위해 through-
holes 또는 구멍 뚫린 스테인리스 스틸 조임
장치를 사용합니다.

에어로텍은 시스템이 가스 방출 요구 조건을 만족시키거나 뛰어넘는 것을 보장하기 위해 항상 우리의 고객들과 가까이에서 일합니다.

설계 요소

열 관리

모터와 베어링으로부터의 열을 제거하는데에는
대류에만 의지할 수 없기 때문에
열 관리는 진공 시스템의 핵심입니다.
열관리 체계 없이는,
스테이지는 공기 중에서 가동되는
등가 시스템을 통해 성능이 저하되고
제품수명도 감소될 수 있습니다.
이것이 에어로텍이 열 분리 수단과
능동적/수동적 냉각 기술에
상당한 노력을 기울이는 이유입니다.
이러한 기술들은 전도와 냉각의 방사성 모드를
최대화 하는 데 도움을 주고,
공간 내 열원을 없애거나 줄이는데 도움을 줍니다.

서보모터

리니어 및 로터리 서보모터의 설계는
그들이 기본적인 열원이기 때문에
진공 시스템 운영에 매우 중요합니다.
이것이 바로 에어로텍이
특히 진공에서의 모터에 대한 문제를 해결하기 위해
모터들을 설계하고 구축하는 이유입니다.
특별한 재료 구성부터 자기회로 설계까지,
에어로텍 서보모터들은
가스 방출 최소화, 단위 체적당 높은 힘과 토크,
그리고 긴 수명에 최적화 되어있습니다.

시스템 수준의 주요 기능

광범위한 모터 옵션들 에어로텍의 완벽한 진공 스테이지 라인은 피에조, 로터리 스테핑모터, 로터리 서보, 리니어 그리고 곡선운동 모터에 걸친 구동 기술을 포함합니다. 우리의 직접구동 솔루션은 그들의 비접촉 설계로써 오염을 최소화하는 동시에 기계의 고속 성능을 높입니다. 특별한 모터 설계와 차폐는 민감한 응용분야에서 빗나간 자기장이 약화되도록 만들어 줍니다.
튜닝 및 문제해결 에어로텍 컨트롤러들은 진공실을 열지 않고도 모션시스템의 튜닝과 문제해결을 가능하게 하는 광범위한 진단법을 제공합니다. 데이터 준비는 위치, 속력, 전류, 그리고 주파수 응답 플롯 뿐만 아니라 FFT를 하는 능력까지 포함합니다.
분리 시스템을 갖춘 피드포워드 인터페이스 옵션들은 에어로텍 컨트롤러와 능동적 분리 시스템 사이에서 모션 명령어의 직접 커뮤니케이션을 가능하게 합니다. 분리 피드포워드는 스테이지에 의한 진공 챔버 모션을 극적으로 감소시켜주며, 그럼으로써 시스템 처리량을 증가시킵니다.
직접 레이저 간섭계 입력 에어로텍 모션 컨트롤러들은 직접 작업 포인트 위치결정을 위해 직접적으로 레이저 엔코더 피드백을 채택합니다. 고객맞춤형 제품 제조사로서, 에어로텍은 VME-스타일 레이저 간섭계 피드백 시스템과 인터페이스로 접속할 수 있습니다.

에어로텍 제어 솔루션

에어로텍은 사용자의 최적화된 성능을 제공하기 위해 선택 가능한 두 가지 모션 제어 플랫폼을 가지고 있습니다. Automation 3200 다축 머신 컨트롤러는 소프트웨어 기반(PC 슬롯 불필요)이며, 하나의 통합된 프로그래밍 환경에서 강력한 고성능 모션 엔진에 비전, PLC, 로봇, I/O등을 결합시킵니다. Ensemble® 모션 컨트롤러는 10/100 Base T Ethernet 또는 USB 인터페이스를 통한 고속 통신을 갖춘 에어로텍의 다축 독립형 컨트롤러입니다. 두 가지의 컨트롤 옵션들은 고성능 PWM 앰프 옵션들은 물론이고 저 노이즈 리니어 앰프도 포함합니다. 고객 컨트롤 전자기기들도 또한 요구에 따라 가능합니다.

에어로텍 고급 제어

에어로텍의 DCT(Dynamic Controls Toolbox)로 여러분의 진공 시스템의 모션 성능을 획기적으로 향상시키세요. DCT는 안정화 시간, 정밀도, 정위치 안정성, 그리고/또는 속도 안정성과 같은 시스템 성능을 증가시키는 제어 알고리즘을 제공합니다. 여기에는 Harmonic Cancellation, Threshold, Dynamic Gain Scheduling, Command Shaping, 그리고 Cross-Axis Feedforward가 포함됩니다. 에어로텍 컨트롤러들은 또한 챔버 능동 분리 시스템에 대한 직접 피드포워드 인터페이스를 제공합니다.

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