ABL8000
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¸ðµç Air Bearing Ç¥¸é¿¡ ´Éµ¿Çü °ø±â ¿¹¾Ð

À̵¿°Å¸® 1m

¸®´Ï¾î ¿£ÄÚ´õ ¶Ç´Â ·¹ÀÌÀú °£¼·°è(interferometer)¿¡ ÀÇÇÑ Çǵå¹é

¹«°Å¿î ºÎÇÏ¿¡ ´ëÇÑ ³ôÀº °ß°í¼º°ú Ź¿ùÇÑ ±âÇÏÇÐÀû ¼º´É

È­°­¾ÏÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ÅëÇÕµÈ XY ÇϺνýºÅÛ


÷´Ü Á¦ÀÛÀº, ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼¿Í µ¥ÀÌÅÍ ÀúÀå »ê¾÷¿¡¼­, ÀüÅëÀûÀÎ º¼-½ºÅ©·ù¿Í ±â°èº£¾î¸µ Æ÷Áö¼Å´× ½Ã½ºÅÛÀÇ ¼º´ÉÀ» ÃÊ°úÇÏ´Â Æ÷Áö¼Å´× Çã¿ëÄ¡¸¦ ¿ä±¸ÇÕ´Ï´Ù. ABL8000Àº ÃæºÐÇÑ ´Éµ¿ ¿¹¾Ð, Ź¿ùÇÑ ³ôÀº °ß°í¼º ¹× ¿ì¼öÇÑ ±âÇÏÇÐÀû Ư¼ºÀ» °¡Áö°í¼­ Ưº°È÷ ÀÌ·¯ÇÑ ¼ö¿ä¸¦ ¸ÂÃß±â À§ÇØ ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù.

 

 

Air Bearing µðÀÚÀÎ
ABL8000Àº ¼öÁ÷ ¹× ¼öÆò¸é ¸ðµÎ¿¡ ´Éµ¿Çü ¿¹¾ÐÀ» °É¾îÁÝ´Ï´Ù. ´ë¸³ÇÏ´Â ¹Ú¸·ÀÇ ¾Ð·ÂÀº º£¾î¸µÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ °£±ØÀ» Çã¿ëÄ¡·Î À¯Áö½Ãŵ´Ï´Ù. ³ÐÀº Ç¥¸éÀû¿¡ ºÎÇϸ¦ ºÐ»ê½ÃÅ°´Â ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)ÀÇ ³ÐÀº Ç¥¸é°ú ÇÔ²², ÀÌ·¯ÇÑ µðÀÚÀÎÀº ¹«°Å¿î ¶Ç´Â ±Þ°ÝÇÑ ºÎÇÏ¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ ¿ì¼öÇÑ °ß°í¼ºÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù.

µ¶ÀÚÀûÀÎ Á¦Á¶±â¼ú·Î Ź¿ùÇÑ ±âÇÏÇÐÀû Ư¼ºµéÀ» °¡Áø ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)À» ¸¸µé°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)Àº ¼º°ú¸¦ ±Ø´ëÈ­ÇÏ´Â °íÀ¯ÀÇ Æò±ÕÈ¿°ú¸¦ °®½À´Ï´Ù. ¹Ú¸· Çʸ§Àº ÀÛÀº Ç¥¸éÀÇ Æ´°ú ´Ù¸¥ ºÒ±ÔÄ¢ÀûÀÎ °ÍµéÀ» ä¿ö ¿ì¼öÇÑ ÇÇÄ¡(pitch), ·Ñ(roll), ¿äÀ×(yaw), ±×¸®°í Á÷¼±µµ¿Í ÆòÆíµµ »ç¾çÀ» ¸¸µé¾î ÁÝ´Ï´Ù.

 

 

Linear ¸ðÅÍ µå¶óÀ̺ê
ÀÌ stageÀÇ ¹è°æ¿¡´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ BLMC ½Ã¸®Áî Brushless Linear Servo Motor°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¸ðÅÍ Á¦Á¶»ç·Î¼­ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ±ä ¿ª»ç¿Í °æÇèÀÌ ÀÌ µðÀÚÀο¡ ¹Ý¿µµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. BLMC´Â Ironless Forcer¸¦ »ç¿ëÇϴµ¥ Zero cogging°ú Ùí-ÀηÂ(no attractive forces)À¸·Î ÀÎÇØ ºñÇÒ µ¥ ¾øÀÌ ¿øÈ°ÇÑ ¸ð¼ÇÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ³ôÀº °­µµ¿Í ¼Óµµ¸¦ ³¾ ¼ö ÀÖ¾î, BLMC´Â ÆÄ¿ö¿Í ¼º´ÉÀÇ ÃÖ°íÀÇ Á¶ÇÕÀ̶ó°í ºÒ¸®¾îÁý´Ï´Ù.

 

Zero Maintenance
¿ì¸®ÀÇ ¿Ïº®ÇÑ ºñÁ¢ÃË½Ä ¿¡¾îº£¾î¸µ(Air Bearing), ºñÁ¢ÃË½Ä ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ µå¶óÀ̺ê, ±×¸®°í ºñÁ¢ÃË Çǵå¹é Àåºñ´Â ¿¡¾î·ÎÅØ Àåºñ¿¡¼­ ±â´ëµÇ´Â ³ôÀº ¼º´É¼öÁØ ÇÏ¿¡¼­ ´Ù³â°£ÀÇ À¯Áöº¸¼ö°¡ ÇÊ¿ä ¾ø½À´Ï´Ù. À̵¿¿ä¼Ò °£ ±â°èÀûÀÎ Á¢ÃËÀÌ ÀüÇô ¾ø±â ¶§¹®¿¡, ABL1500Àº ½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¸¥ ¼º´É °¨¼Ò³ª ¸¶¸ð°¡ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. ¼­ºñ½º ±â°£Àº »ç½Ç ¹«ÇÑÁ¤ÀÌ°í À±È°ÁÖÀ¯°¡ ¾ø±â ¶§¹®¿¡ ? ¿À·ÎÁö ûÁ¤, µå¶óÀÌ °¡½º ? ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)Àº Å©¸°·ë°ú ÀÇ·áºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀ¸·Î Àû¿ëµË´Ï´Ù. 

 


¹è¼± °ü¸®
´Ù³â°£ÀÇ Maintenance Free¸¦ º¸ÀåÇϱâ À§ÇØ ¹è¼± °î·ü¹Ý°æÀ» ½ÅÁßÀ» ±âÇÏ¿© ÃÖÀûÈ­ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¸¸ÀÇ Çϳª ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÑ °æ¿ì, °¡µ¿Áß´Ü ½Ã°£À» ÃÖ¼ÒÈ­Çϱâ À§ÇØ ¹è¼±±³Ã¼°¡ ½Å¼Ó ¿ëÀÌÇϵµ·Ï ¸ðµâ µðÀÚÀÎÀÌ µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÃÖÁ¾ ½Ã½ºÅÛ¿¡ °áÇÕÀÌ ¿ëÀÌÇϵµ·Ï ¿ì¸®ÀÇ CMS(¹è¼±°ü¸®½Ã½ºÅÛ)¿¡ °í°´ÀÌ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ¸ðµç ¹è¼±, °ø±â È£½º, µîÀ» Æ÷ÇÔ½ÃÄ×½À´Ï´Ù. ¾çÂÊ ³¡ ´ÜÀº °í°´ ±â°è¿¡ °£´ÜÈ÷ ºÎÂøÀÌ µÇµµ·Ï ¿ÏÀüÈ÷ Ä¿³ØÅÍ Ã³¸®µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.

 


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