ATS100
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

 

● 긴 수명의 리니어 모션 가이드 베어링 시스템
● 초-미세 분해능
● 완전한 주름상자형 통로커버
● 저 형상, 콜팩트 디자인
● Brushless 및 Slotless 모터 포함

 

 

 

ATS100 시리즈 모터 구동 linear 스테이지는 반도체 웨이퍼 시험과 제조, 자동화된 현미경 검사시스템, 그리고 정밀 마이크로 기계가공 적용분야에 요구되는 높은 분해능과 반복성을 제공합니다.

우수한 구축 특성
ATS100 시리즈 스테이지는 높은 힘對중량 비율과 장기간의 안정성을 제공하는 특수 주조 알미늄 합금을 기계가공하여 만듭니다. 기반은 박스 디자인으로서 독점적인 견고함과 안정성을 제공합니다.

ATS100 시리즈 스테이지는 정밀 연마된 볼스크류를 채용하며 백레쉬를 없애기 위하여 예압처리됩니다. 그리고 nut는 스테이지의 사용가능 기간동안 오염방지와 높은 정확도를 유지하기 위해 wiper를 장착하고 있습니다. 고품질, 예압처리된 이중의 베어링이 축의 흔들림을 제거하기 위해 사용됩니다.

모든 ATS100 시리즈 스테이지는 높은 하중 능력과 견고성을 제공하기 위해 linear motion guide(LMG) 베어링을 장착하고 있습니다. LMG 디자인은 양호한 켄틸레버 하중 용량과 전체이동 경로에 대해 연속적인 운송을 지원하는 콤팩트한 스테이지를 제공합니다. 베어링 트럭위의 완벽한 wiper가 스테이지의 이동수명을 보장하여 줍니다. 높은 정확도의 광 리미트 스위치와 끝단 정지기능이 또한 표준사양입니다.

완전한 주름상자형 통로커버는 드라이브와 베어링시스템의 오염을 방지하여 줍니다. 금속 표면은 투명한 아노다이즈 끝처리로 보호됩니다. 표준 미터식 및 인치식 탑재와 볼트-구멍 형식 모두 가용합니다.

높은 정확성
ATS100은 콤팩트 패키지내에 표준적인 정밀성능을 구축합니다. HAL 옵션을 추가하면, ATS100은 마이크로미터 보다 작은 수치의 정확도와 0.3 μm이라는 인상적인 반복성능을 가집니다.

모터와 드라이브
에어로텍의 BMS 시리즈 브러쉬리스 로터리 모터는 ATS100 시리즈 스테이지에 내장되어 있습니다. 이 모터는 브러쉬리스 모터의 모든 장점-고 가속성, 마모성 브러쉬 전무, 저발열을 가지며, 극도의 부드러운 모션와 정확성을 위해 코깅을 완전히 없앴습니다. 에어로텍은 완전히 통합된 최적의 모션 솔루션을 제공하기 위해 광범위한 드라이브와 컨트롤 세트를 생산합니다.

선택사양
표준 선택사양은 10-6torr. 까지의 진공조작과 다축의 응용분야릉 위한 정밀 직각 브라켓을 포함합니다. 

 

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