AHL9000
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 ¿¡¾î º£¾î¸µ ½ºÄµ Ãà; ±â°è º£¾î¸µ ½ºÅÜ Ãà

µà¾ó ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ ±¸µ¿ÀÇ ½ºÅÜ Ãà

À̵¿°Å¸® 1.2m * 1.2m

Linear ¿£ÄÚ´õ ¶Ç´Â ·¹ÀÌÀú °£¼·°è(interferometer)¿¡ ÀÇÇÑ Çǵå¹é

  

 

 

 

AHL9000Àº ¿¡¾î·ÎÅØ Air Bearing stageÀÇ °¡Àå ÃֽűâÁ¾À¸·Î, °¡°Ý°ú ¼º´ÉÀÇ ½ÅÁßÇÑ ±ÕÇüÀÌ ÇÊ¿äÇÑ Àû¿ëºÐ¾ß¿¡¼­ Ź¿ùÇÑ ¼±ÅÃÀÌ µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ stage´Â ¿ì¼öÇÑ step°ú °Ë»ç¼º´ÉÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â Àû¿ëºÐ¾ßÀÇ ¼ö¿ä¿¡ ¸ÂÃß°íÀÚ ¼³°èµÇ¾úÀ¸¸ç, ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç, FPD Á¦ÀÛ, ±×¸®°í Îà °Ë»ç ¹× Á¦ÀÛ µîÀÇ ºÐ¾ß¿¡ Àû¿ëµË´Ï´Ù.

 

ÇÏÀ̺긮µå º£¾î¸µ µðÀÚÀÎ
AHL9000ÀÇ ScanÃàÀº ABL9000 Æò¸é ¿¡¾î º£¾î¸µÀ» À§ÇØ °³¹ßµÈ °ËÁõµÈ ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing) ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌÃàÀº ¿ì¼öÇÑ °ß°í¼º°ú ±âµ¿¼ºÀ» À§ÇÏ¿© ¼öÁ÷ ¹× ¼öÆòÇ¥¸é ¸ðµÎ¿¡ ´Éµ¿Çü ¿¹¾ÐÀ» »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, AHL9000Àº step Ãà¿¡ ±â°èº£¾î¸µÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ºñ¿ë-È¿À²¼ºÀÇ ÀÌÁ¡À» ¾ò½À´Ï´Ù. ÀÌ·¸°Ô ÇϳªÀÇ stage¿¡ µÎ º£¾î¸µ ±â¼úÀ» Á¶ÇÕÇÏ¿© step°ú Scan ÀÛ¾÷¿¡ ÃÖÀûÀÇ ½Ã½ºÅÛÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

 

Linear ¸ðÅÍ µå¶óÀ̺ê
ÀÌ stageÀÇ ¹è°æ¿¡´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ BLMC ½Ã¸®Áî Brushless Linear Servo Motor°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¸ðÅÍ Á¦Á¶»ç·Î¼­ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ±ä ¿ª»ç¿Í °æÇèÀÌ ÀÌ µðÀÚÀο¡ ¹Ý¿µµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. BLMC´Â Ironless Forcer¸¦ »ç¿ëÇϴµ¥ Zero cogging°ú Ùí-ÀηÂ(no attractive forces)À¸·Î ÀÎÇØ ºñÇÒ µ¥ ¾øÀÌ ¿øÈ°ÇÑ ¸ð¼ÇÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ³ôÀº °­µµ¿Í ¼Óµµ¸¦ ³¾ ¼ö ÀÖ¾î, BLMC´Â ÆÄ¿ö¿Í ¼º´ÉÀÇ ÃÖ°íÀÇ Á¶ÇÕÀ̶ó°í ºÒ¸®¾îÁý´Ï´Ù.

³ôÀº ¼º´É
¸ðµç AHL9000 ½Ã¸®Áî¿¡ ¹é¸¸ ºÐÀÇ 1ÀÌÇÏÀÇ ¹Ýº¹ Á¤µµ¸¦ °¡Áø ºñÁ¢ÃË ¸®´Ï¾î ¿£ÄÚ´õ°¡ Ç¥ÁØ»ç¾çÀ¸·Î Á¦°øµË´Ï´Ù. Ç¥ÁØ Á¤¹Ðµµ¿Í Á÷¼±µµÀÇ Ãß°¡ Çâ»ó°ú, ÈξÀ ´õ Á¤¹ÐÇÑ ¿äÀ×(yaw) »ç¾çÀ» À§ÇØ ¿É¼ÇÀ¸·Î 2D °øÀå ´«±ÝÁ¶Á¤(factory calibration)ÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

 

¹è¼± °ü¸®
´Ù³â°£ÀÇ Maintenance Free¸¦ º¸ÀåÇϱâ À§ÇØ ¹è¼± °î·ü¹Ý°æÀ» ½ÅÁßÀ» ±âÇÏ¿© ÃÖÀûÈ­ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¸¸ÀÇ Çϳª ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÑ °æ¿ì, °¡µ¿Áß´Ü ½Ã°£À» ÃÖ¼ÒÈ­Çϱâ À§ÇØ ¹è¼±±³Ã¼°¡ ½Å¼Ó ¿ëÀÌÇϵµ·Ï ¸ðµâ µðÀÚÀÎÀÌ µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ÃÖÁ¾ ½Ã½ºÅÛ¿¡ °áÇÕÀÌ ¿ëÀÌÇϵµ·Ï ¿ì¸®ÀÇ CMS(¹è¼±°ü¸®½Ã½ºÅÛ)¿¡ °í°´ÀÌ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ¸ðµç ¹è¼±, °ø±â È£½º, µîÀ» Æ÷ÇÔ½ÃÄ×½À´Ï´Ù. ¾çÂÊ ³¡ ´ÜÀº °í°´ ±â°è¿¡ °£´ÜÈ÷ ºÎÂøÀÌ µÇµµ·Ï ¿ÏÀüÈ÷ Ä¿³ØÅÍ Ã³¸®µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
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