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소개
에어로텍의 ANT95-L 시리즈 스테이지는 25mm보다 더 큰 이동거리를 갖고 세계에서 첫 나노미터급 위치결정 시스템입니다. 에어로텍의 나노이동 (ANT95-L, ANT95-L-PLUS) 크로스롤러 스테이지는 속도, 정확도, 분해능, 반복정밀도 및 사이즈가 결합된 최고 등급의 제품으로서 2개 등급의 정확도를 제공합니다. 꾸준히 인기를 얻고 있는 ANT 스테이지 품목의 혁신제품으로서, 이러한 리니어 스테이지는 에어로텍의 일세대 ANT 시리즈 제품을 능가하는 향상된 모션성능을 시현하고 있습니다. 5g 가속도, 500mm/s 속도, 향상된 부하용량, 그리고 표준화된 만능 베이스 마운팅 패턴과 같이 향상된 제품성능은 전단계 제품 대비 훨씬 광범위한 영역의 조합성에 이러한 유연한 스테이지 제품군의 사용을 가능하게 합니다.
비접촉 다이렉트 드라이브
원래의 ANT시리즈 제품의 모든 다이렉트드라이브의 장점들이 ANT95-L 제품에 포함되어 있습니다. 비접촉 다이렉트드라이브 기술만이 정밀 장비의 대량제조에 필요한 튼튼하고, 정확하며, 고속의 포지셔닝을 제공합니다. ANT95-L 스테이지는 최상위의 포지셔닝 성능을 달성하기 위해 에어로텍이 개척한 선진기술의 다이렉트드라이브 기술을 활용합니다. 이러한 다이렉트드라이브 기술은 고성능, 무코깅, 비접촉, 고속, 고분해능, 그리고 높은 정확도를 제공하며, 반creep 크로스롤러 베어링 요소를 사용하여 더욱 높은 정밀도와 더욱 미세한 분할이동이 높은 신뢰성과 고도의 반복도로 실현될 수 있도록 하여 줍니다. 극도의 소형 펙키지에 구현된 이 독특한 드라이브와 베어링의 조합은, 고정밀 포지셔닝, 디스크드라이브 제작, 광섬유 정열, 광학 딜레이 요소 작용, 센서 시험, 그리고 스케닝 공정과 같이, 부드럽고 정밀한 모션을 요구하는 많은 응용분야에 가시적인 장점을 제공합니다.
유연한 시스템 디자인
ANT95-L 제품은 만능 마운팅과 테이블탑 패턴을 제공하여 시스템 통합이 용이하게 합니다. 2, 3, 또는 더 많은 축이 쉽게 조합될 수 있게 하여 유연한 시스템 디자인과 다축 조합이 가능하게 합니다.
시스템 특성
탁월한 정확도, 포지션 반복도, 그리고 정위치 안정성은 고도의 시스템 분해능을 요구합니다. ANT95-L 스테이지의 업계선두의 1nm 최소 분할 단위는 이러한 높은 수준의 성능을 제공합니다. 에어로텍의 다이렉트드라이브 기술은 히스테리시스 또는 벡레쉬가 전혀 없으며, 정확하고 반복도가 높은 나노미터 수준의 모션을 가능하게 합니다.
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Mechanical Specifications |
ANT95-25-L |
ANT95-25-L-PLUS |
ANT95-50-L |
ANT95-50-L-PLUS |
| Travel |
25 mm
|
25 mm
|
50 mm
|
50 mm
|
| Accuracy(1) |
±2.5 μm
(±100 μin) |
±250 nm
(±10 μin) |
±2.5 μm
(±100 μin) |
±250 nm
(±10 μin) |
| Resolution |
1 nm
(0.04 μin) |
1 nm
(0.04 μin) |
1 nm
(0.04 μin) |
1 nm
(0.04 μin) |
| Repeatability
(Bi-Directional) (1) |
±100 nm
(±4 μin) |
±75 nm
(±3 μin) |
±100 nm
(±4 μin) |
±75 nm
(±3 μin) |
| Repeatability
(Uni-Directional) (1) |
±25 nm
(±1 μin) |
±25 nm
(±1 μin) |
±25 nm
(±1 μin) |
±25 nm
(±1 μin) |
| Straightness(1) |
±1.0 μm
(±40 μin) |
±1.0 μm
(±40 μin) |
±1.0 μm
(±40 μin) |
±1.0 μm
(±40 μin) |
| Flatness(1) |
±1.0 μm
(±40 μin) |
±1.0 μm
(±40 μin) |
±1.0 μm
(±40 μin) |
±1.0 μm
(±40 μin) |
| Pitch |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
| Roll |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
| Yaw |
5 arc
sec |
5 arc
sec |
5 arc
sec |
5 arc
sec |
| Maximum Speed |
500
mm/s (20 in/s) |
500
mm/s (20 in/s) |
500
mm/s (20 in/s) |
500
mm/s (20 in/s) |
| Maximum Acceleration
|
5 g -
50 m/s2 (No Load) |
5 g -
50 m/s2 (No Load) |
4 g -
40 m/s2 (No Load) |
4 g -
40 m/s2 (No Load) |
| Speed Stability |
See graph
for typical performance |
| Settling Time |
See graph
for typical performance |
| In-Position
Stability(2) |
<1
nm (<0.04 μin) |
<1
nm (<0.04 μin) |
<1
nm (<0.04 μin) |
<1
nm (<0.04 μin) |
| Maximum Force (Continuous)
|
7.75 N
|
7.75 N
|
9.5 N
|
9.5 N
|
| Load
Capacity(3) |
Horizontal |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
7.0 kg
(15.4 lb) |
7.0 kg
(15.4 lb) |
| Side |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
| Moving Mass |
0.46 kg
(1.0 lb) |
0.46 kg
(1.0 lb) |
0.52 kg
(1.1 lb) |
0.52 kg
(1.1 lb) |
| Stage Mass |
0.8 kg
(1.8 lb) |
0.8 kg
(1.8 lb) |
1.2 kg
(2.7 lb) |
1.2 kg
(2.7 lb) |
| Material |
Aluminum
Body/Black Hardcoat Finish |
| MTBF (Mean Time Between
Failure) |
30,000
Hours |
Notes:
1. Certified with each stage.
2.
In-Position Jitter listing is 3 sigma value.
3. Axis orientation for on-axis
loading is listed.
• Specifications are for single-axis systems measured 25
mm above the tabletop. Performance of combined multi-axis systems is payload and
workpoint dependent. Consult factory for
multi-axis or non-standard
applications.
• -PLUS requires the use of an Aerotech controller.
| Travel |
75 mm
|
75 mm
|
100 mm
|
100 mm
|
| Accuracy(1) |
±4.0 μm
(±160 μin) |
±275 nm
(±11 μin) |
±5.0 μm
(±200 μin) |
±275 nm
(±11 μin) |
| Resolution |
1 nm
(0.04 μin) |
1 nm
(0.04 μin) |
1 nm
(0.04 μin) |
1 nm
(0.04 μin) |
| Repeatability
(Bi-Directional) (1) |
±100 nm
(±4 μin) |
±75 nm
(±3 μin) |
±100 nm
(±4 μin) |
±75 nm
(±3 μin) |
| Repeatability
(Uni-Directional) (1) |
±25 nm
(±1 μin) |
±25 nm
(±1 μin) |
±25 nm
(±1 μin) |
±25 nm
(±1 μin) |
| Straightness(1) |
±2.0 μm
(±80 μin) |
±2.0 μm
(±80 μin) |
±2.5 μm
(±100 μin) |
±2.5 μm
(±100 μin) |
| Flatness(1) |
±2.0 μm
(±80 μin) |
±2.0 μm
(±80 μin) |
±2.5 μm
(±100 μin) |
±2.5 μm
(±100 μin) |
| Pitch |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
| Roll |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
10 arc
sec |
| Yaw |
5 arc
sec |
5 arc
sec |
5 arc
sec |
5 arc
sec |
| Maximum Speed
|
500
mm/s (20 in/s) |
500
mm/s (20 in/s) |
500
mm/s (20 in/s) |
500
mm/s (20 in/s) |
| Maximum
Acceleration |
3 g -
30 m/s2 (No Load) |
3 g -
30 m/s2 (No Load) |
3 g -
30 m/s2 (No Load) |
3 g -
30 m/s2 (No Load) |
| Speed Stability
|
See graph
for typical performance |
| Settling Time
|
See graph
for typical performance |
| In-Position
Stability(2) |
<1
nm (<0.04 μin) |
<1
nm (<0.04 μin) |
<1
nm (<0.04 μin) |
<1
nm (<0.04 μin) |
| Maximum Force
(Continuous) |
9.5 N
|
9.5 N
|
12.9 N
|
12.9 N
|
| Load
Capacity(3) |
Horizontal |
7.0 kg
(15.4 lb) |
7.0 kg
(15.4 lb) |
7.0 kg
(15.4 lb) |
7.0 kg
(15.4 lb) |
| Side |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
5.0 kg
(11 lb) |
| Moving Mass |
0.72 kg
(1.6 lb) |
0.72 kg
(1.6 lb) |
0.91 kg
(2.0 lb) |
0.91 kg
(2.0 lb) |
| Stage Mass |
1.64 kg
(3.6 lb) |
1.64 kg
(3.6 lb) |
2.1 kg
(4.6 lb) |
2.1 kg
(4.6 lb) |
| Material |
Aluminum
Body/Black Hardcoat Finish |
| MTBF (Mean Time
Between Failure) |
30,000
Hours |
Notes:
1. Certified with each stage.
2.
In-Position Jitter listing is 3 sigma value.
3. Axis orientation for on-axis
loading is listed.
• Specifications are for single-axis systems measured 25
mm above the tabletop. Performance of combined multi-axis systems is payload and
workpoint dependent. Consult factory for
multi-axis or non-standard
applications.
• -PLUS requires the use of an Aerotech controller.
| Drive
System |
Brushless
Linear Servomotor |
| Feedback |
Noncontact Linear Encoder |
| Maximum Bus
Voltage |
±40
VDC |
| Limit
Switches |
5 V,
Normally Closed |
| Home Switch |
Near
Center |
| Drive
System |
Brushless
Linear Servomotor |
| Feedback |
Noncontact Linear Encoder |
| Maximum Bus
Voltage |
±40
VDC |
| Limit
Switches |
5 V,
Normally Closed |
| Home Switch |
Near
Center |
| Multi-Axis |
A3200 |
Npaq-MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH |
| Ensemble |
Epaq-MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH |
| Single Axis |
Soloist |
Soloist
ML-MXH |
Notes:
1. Linear amplifiers are required to
achieve the listed specifications. Other options are available.
| Multi-Axis |
A3200 |
Npaq-MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH |
| Ensemble |
Epaq-MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH |
| Single Axis |
Soloist |
Soloist
ML-MXH |
Notes:
1. Linear amplifiers are required to
achieve the listed specifications. Other options are available.
Note: To ensure the achievement and
repeatability of specifications over an extended period of time, environmental
temperature must be controlled to within 0.25ºC/24 hours. If this is not
possible, alternate products are available. Please consult Aerotech Sales
Engineering for more information.
|
ANT95-25-L/ANT95-25-L-PLUS
ANT95-50-L/ANT95-50-L-PLUS
ANT95-75-L/ANT95-75-L-PLUS
ANT95-100-L/ANT95-100-L-PLUS
MOUNTING
PLATES
ANT95-25-L/ANT95-25-L-PLUS
ANT95-50-L/ANT95-50-L-PLUS
ANT95-75-L/ANT95-75-L-PLUS
ANT95-100-L/ANT95-100-L-PLUS
|
|
ANT95-L Series Linear Stage |
|
ANT95-L/ANT95-L-PLUS |
Aerotech’s nanotranslation crossed-roller linear
positioner
|
|
Linear Stage Travel |
|
ANT95-25-L |
25 mm (1 in) travel stage with proprietary direct-drive motor technology, 1
Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits |
|
ANT95-25-L-PLUS |
25 mm (1 in) travel stage with proprietary direct-drive motor technology, 1
Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits (High Accuracy
Version) |
|
ANT95-50-L |
50 mm (2 in) travel stage with proprietary direct-drive motor technology, 1
Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits |
|
ANT95-50-L-PLUS |
50 mm (2 in) travel stage with proprietary direct-drive motor technology, 1
Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits (High Accuracy
Version) |
|
ANT95-75-L |
75 mm (3 in) travel stage with proprietary direct-drive motor technology, 1
Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits |
|
ANT95-75-L-PLUS |
75 mm (3 in) travel stage with proprietary direct-drive motor technology, 1
Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits (High Accuracy
Version) |
|
ANT95-100-L |
100 mm (4 in) travel stage with proprietary direct-drive motor technology, 1
Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits |
|
ANT95-100-L-PLUS |
100 mm (4 in) travel stage with proprietary direct-drive motor technology, 1
Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits (High Accuracy
Version) |
|
Options |
|
-MP |
Breadboard mounting plate |
|
-AP |
XY adapter plate (6 mm thick; ANT95-50-L and ANT95-50-L-PLUS only)
|
|
ANT95-L
