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스핀들 모터
direct drive spindle direct drive spindle  
ASR2000 Series Direct-drive Spindle ABS2000 Series Air Bearing Spindle  
에어로텍의 ASR 시리즈 다이렉트 드라이브 스핀들은 디스크 드라이브 시험, 이미징 응용분야 그리고 정밀 웨이퍼 검사를 포함하는 응용분야를 위한 우수한 각도 포지셔닝과 속도 컨트롤을 제공하기 위해 디자인 되었습니다.

Click here for complete product information. 		에어로텍의 ABS 시리즈 다이렉트 드라이브 에어베어링 스핀들은 데이터 저장, 웨이퍼 공정, 다이아몬드 회전, 그리고 이미징을 포함하는 응용분야를 위한 우수한 각도 포지셔닝과 속도 컨트롤을 제공하기 위해 디자인되었습니다.

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Max rotary speed
6000 rpm in <1 second
Max load (radial/axial)
89 N
Total error motion (radial/axial)
5 µm/2 µm
Max rotary speed
6000 rpm
Max load (radial/axial)
66 N - 178 N
Synchronous error motion (radial/axial)
<100 nm
 
 

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