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고토크의 Direct-Drive Slotless Brushless Servo Motor
우수한 속도 안정성을
위한 제로코깅(zero-cogging) 모터
우수한 에러모션(error motion)과 와블 성능(wobble
performance)
일체형 고정도 로터리 엔코더
대구경의 깔끔한 중공(中空) 설계, 기계적인 비접촉
타입
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에어로텍의 ABRT시리즈 로터리 에어 베어링 스테이지(Rotary Air Bearing stage)는 인상적인 하중 중량과 탁월한
반경 및 축방향의 견고함과 함께 우수한 각도 positioning, 속도 안정성, 그리고 에러모션(error motion) 성능을 제공한다.
ABRT는 DVD mastering, 웨이퍼 검사, 高-정밀 계측, x-ray 디플렉션 시스템(Difflection System), 광학 검사
및 제조, 그리고 MEMS/나노기술 장치 제작 등 정밀수요에 대응하고자 설계되었다.
우수한 기계역학
디자인
ABRS 디자인은 높은 견고성과 부하 용량을 위한 넓은 공기-베어링 표면이 특징인데, 이것은 축방향 및 반지름방향의
탁월한 에러모션(error motion)뿐만 아니라, 우수한 기울임 에러모션(tilt error motion)도 만들어 준다. 합성 페이스
에러모션(Resultant face error motion)은 특수한 평면 성능을 요구하는 수익성이 큰 적용분야에 다른 로터리 에어 베어링과
스핀들 대비 아주 양호하다. 더욱이, ABRT 시리즈 stage는 제품 이송, 레이저 빔 전달, 배선 정리, 그리고 개별-적용분야의 요구사항에
유용한 깨끗한 aperture를 제공한다.
Brushless
Direct-Drive
포지셔닝(Positioning) 성능의 최대화를 위해, ABRS 시리즈는 에어로텍이 S-시리즈
Slotless Brushless Motor를 사용한다. 이 모터는 열발생을 최소화하면서 높은 토크 출력을 내도록 앞서가는 磁氣 회로 디자인을
사용한다. Slotless 디자인은 근본적으로 제로코깅(Zero Cogging) 및 토크 리플-프리(Torque riffle-free)
디자인이다. 이것은 저속 또는 고속에서 부드러운 검사속도를 요구하는 적용분야에 ABRT stage를 이상적으로 만들어
준다.
정확한 포지셔닝(positioning)
광학 엔코더는 ABRT에 표준사양이다. 에어로텍의
피드백 배수기(multipliers)와 제어기에 장착하여, 0.03 arc second 이하의 해법을 얻을 수
있다.
고객 디자인
ABRS는 비율표와 각종 관성별 적용분야에 대해 고객 맞춤 디자인이
가능하다.
유연한 조합성
에어로텍은 완벽한 통합 팩키지를 공급하기 위해 폭넓은 서보
앰프(amplifiers)와 선진 콘트롤러를 생산한다.
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ABRT -150
ABRT -200
ABRT -260
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ABRT
