MPS75SLE
Ư¡

 

¼³°è Ư¡

¤ýÀ̼۰Ÿ® 100mmÀÇ ¼ÒÇü ½ºÅ×ÀÌÁö

¤ý³·Àº ¿­ÆØâ À¯¸® ½ºÄÉÀÏ ¸®´Ï¾î ¿£ÄÚ´õ

¤ýÁ¤¹Ð ¿¬»è º¼ ½ºÅ©·ù ±¸µ¿

¤ýDC ¼­º¸ ¶Ç´Â ½ºÅ×ÇÎ ¸ðÅÍ

¤ý¾ÈƼũ¸³ Å©·Î½º ·Ñ·¯ º£¾î¸µ

¤ý°íºÐÇØ´É (0.025 ¥ìm), ¹Ýº¹µµ (¡¾0.1 ¥ìm), Á¤È®µµ (¡¾0.75 ¥ìm)

¤ýº§·Î¿ìÁî Ä¿¹ö ¿É¼Ç °¡´É

¤ý¼ÒÇüÀÇ ´ÙÃà ±¸¼º

 MPS75SL Mechanical Bearing, Ball-Screw Stage

¿¡¾î·ÎÅØ MPS75SLE´Â ¸®´Ï¾î ¿£ÄÚ´õ¸¦ ÅëÇØ Á÷Á¢ ÃøÁ¤ Çǵå¹éÀÇ ÀåÁ¡À» Á¦°øÇÏ´Â ¼ÒÇüÀÇ °í¼º´É ¸®´Ï¾î À§Ä¡°áÁ¤ ½ºÅ×ÀÌÁö ÀÔ´Ï´Ù. MPS75SLE´Â ±¤ÇÐ À§Ä¡°áÁ¤, Ç¥¸é °èÃøÀÇ ZÃà À§Ä¡°áÁ¤ ¼¾¼­ ¶Ç´Â °íÁ¤¹Ð Á¤·ÄÀÇ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀûÇÕÇÑ ÀÌ»óÀûÀÎ °íÁ¤¹Ð ½ºÅ×ÀÌÁö ÀÔ´Ï´Ù.  ´ÙÃà ½ºÅ×ÀÌÁö ±¸¼ºÀº ´Ù¼öÀÇ ¾î´ðÅÍ ºê·¡Å¶À» »ç¿ëÇÏ°í, Àüü MPS ½ºÅ×ÀÌÁö Á¦Ç°±ºÀÇ °íÀ¯ÀÇ È£È¯¼ºÀ» ÀåÂøÇÑ MPS ¸®´Ï¾î¿Í ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö¿Í ½±°Ô Á¶¸³ µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.  

ÃÊÁ¤¹Ð ¼³°è

Á¤¹ÐÇÏ°Ô ¿¬¸¶µÇ¾î ÀåÂøµÈ º¼ ½ºÅ©·ù´Â ¸®´Ï¾î ¿£ÄÚ´õ¿Í °áÇÕÇÏ¿© ¶Ù¾î³­ Á¤È®µµ, ¹Ýº¹µµ, ÃÖ´ë 25 nmÀÇ À§Ä¡°áÁ¤ ºÐÇØ´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.  ¾ÈƼ Å©¸³ Å©·Î½º ·Ñ·¯ º£¾î¸µÀº ¼ÒÇü ÆÐÅ°Áö·Î ¸Å¿ì ºÎµå·¯¿î À̼۰ú ³ôÀº ºÎÇÏ ¿ë·®À» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

°­Ã¶(13 ppm/¢ªC)À» »ç¿ëÇϰųª ¶Ç´Â 8 PPM/¢ªC ¿­ÆØâ °è¼ö°¡ÀÇ À¯¸® ½ºÄÉÀÏÀ» »ç¿ëÇÑ °æÀï·ÂÀÖ´Â µðÀÚÀΰú ´Ù¸£°Ô, MPS75SLE´Â ¿À·£ ±â°£ µ¿¾È ³ôÀº Á¤È®µµ¿Í ¹Ýº¹ À§Ä¡°áÁ¤À» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ´Â ³·Àº ¿­ÆØâ(3.3 ppm/¢ªC)ÀÇ Á¤¹Ð À¯¸® ½ºÄÉÀÏ·Î ÀÌ¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¸®´Ï¾î ¿£ÄÚ´õ´Â ¸ðµç Ç¥ÁØ ÄÁÆ®·Ñ·¯¿Í ½±°Ô ÅëÇÕÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÁõÆøµÈ Á¤ÇöÆÄ(1 Vpp) ¶Ç´Â  50 nm TTL µðÁöÅÐ Ãâ·Â°ªÀ¸·Î ÀÌ¿ë°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

°íµµÀÇ ¼³Á¤ À¯¿¬¼º

MPS75SLE ¸ðÅÍ ¿É¼ÇÀº ³ôÀº ºÐÇØ´É ·ÎÅ͸® ¿£ÄÚ´õ ¶Ç´Â ½ºÅ×ÇÎ ¸ðÅÍÀÇ DC ¼­º¸ ¸ðÅ͸¦ Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù.  ¸¶Ä¡ MPS75SLó·³ SLEÀº º§·Î¿ìÁî  Åë·ÎÄ¿¹ö¸¦ ¼±ÅÃÇÏ¿© »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

¿É¼ÇÀÎ ºê·¹µåº¸µå ÀåÂø Ç÷¹ÀÌÆ®´Â ÀÎÄ¡´ÜÀ§°è¿Í ¹ÌÅÍ´ÜÀ§°è ºê·¹µåº¸µå¿¡ Á÷Á¢ ÀåÂøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.  ¸ðµç MPS ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ °íÀ¯ ÀåÂø ȣȯ¼ºÀº ´ÙÃà Á¤·Ä·Î ´Ü¼øÇÑ ÀåÂøÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÕ´Ï´Ù.


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
246/19,080