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Aerotech Áø°øÀÇ ÀåÁ¡
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Aerotech : Áø°ø ¸ð¼Ç Ç÷§Æû ÆÄÆ®³Ê·Î ¼±Á¤µÇ´Â ±â¾÷
Áø°ø °øÇÐÀÇ Àü¹®¼º
´ç»çÀÇ Ç³ºÎÇÑ Å×½ºÆ® ´É·Â¿¡ µû¶ó ³³Ç° Àü¿¡ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛÀÇ ¿ÏÀüÇÑ Ç°ÁúÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. °íµµ·Î ÅëÇÕµÈ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛ °ø±Þ ¾÷ü·Î¼, ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛÀ» ¿Ïº®ÇÏ°Ô ÃÖÀûÈ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ³ôÀº µ¿Àû ½Ã½ºÅÛÀ» À§ÇØ, ¿Àû ¸ðµ¨¸µ°ú ½Ç¹« °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Ȱ¼º ³Ã°¢ ¿É¼ÇÀ» ¸î °¡Áö ÁغñÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÚ±âÀåÀÇ ¿µÇâÀ» ¹Þ±â ½¬¿î ºÐ¾ß¿¡´Â, ÀÚ±âÀå Â÷Æó ¹× ºÀ¼â ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇÑ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ±¤¹üÀ§ÇÑ °æÇèÀÌ À¯¿ëÇÕ´Ï´Ù. Àü¹®¼ºÀ» °®°í ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾î¸µ Á÷¿øÀÇ Àü¹®¼ºÀº ¸ðµç ÁÖ¿ä ¸ð¼Ç ±â¼ú ¿µ¿ª¿¡ À̸¨´Ï´Ù :
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¿¡¾î·ÎÅØÀº UHV ½Ã½ºÅÛÀÇ ±¸Ãà¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ Á¦¾î ȯ°æÀÎ ISO Ŭ·¡½º 6ÀÇ Å¬¸°·ëÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ´ë±Ô¸ð »ý»ê ½Ã¼³ÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ´ç»çÀÇ ±â°è Á¦Ç°Àº Áø°ø ÇØ´ç ±¸¼º ¿ä¼ÒÀÇ »ý»ê¿¡ ÃæºÐÈ÷ ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Áø°ø ½ÇÇè½Ç, Àüü ÇöÀå ºÎǰ Å©¸®´× ½Ã¼³, ±×¸®°í Á¶¸³ ¹× ½ÃÇè¿¡ ÃæºÐÈ÷ ¼÷·ÃµÈ Á÷¿øµéÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
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¿¡¾î·ÎÅØ¿¡¼ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Áø°ø ¿É¼Ç
Level |
Torr |
mBar |
kPa |
Low Vacuum (VAC3) |
1.0 x 10-3 |
1.3 x 10-3 |
1.3 x 10-4 |
High Vacuum (VAC6) |
1.0 x 10-6 |
1.3 x 10-6 |
1.3 x 10-7 |
Ultra-High Vacuum (UHV) |
¡Â1.0 x 10-7 |
¡Â1.3 x 10-7 |
¡Â1.3 x 10-8 |
Àç·á ¼±ÅÃ
»ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Àç·á´Â Áø°ø ·¹º§, ÀÀ¿ëºÐ¾ß, ÀÛµ¿ ¿Âµµ µî¿¡ µû¶ó ´Ù¸£±â ¶§¹®¿¡, ¿¡¾î·ÎÅØÀº Áú·® ¼Õ½Ç ºñÀ²(TML)°ú Àç ÀÀÃà Áú·® ºñÀ²(CVCM)À» Á¦¾îÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ ¿É¼ÇÀ» Á¦°øÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
- À±È°Á¦ : Áø°ø ¼öÁذú °í°´ÀÇ °øÁ¤¿¡ µû¶ó ³·Àº Áõ±â ¾Ð·Â À±È°Á¦¸¦ ¼±ÅÃÇÕ´Ï´Ù. - ÄÉÀÌºí °ü¸® ½Ã½ºÅÛ (CMS) : CMS¸¦ ±¸ÃàÇÏ´Â Àç·á´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î Å×ÇÁ·Ð(R) Àý¿¬ ¿ÍÀ̾î (MIL-C-27500) ¶Ç´Â Kapton°ú PEEK¢â µî ´Ù¾çÇÑ ÀçÁúÀÇ Æ¯¼ö Àü±â Ä¿³ØÅ͸¦ ÇÔ²² Ȱ¿ëÇÕ´Ï´Ù. °¢Á¾ ¿¬°áÀåÄ¡ ¿É¼Çµµ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. - Ç¥¸é ¸¶¹«¸® : Ç¥¸é ¸¶¹«¸®´Â ¹«ÇǺ¹ ¾Ë·ç¹Ì´½, ¹«ÀüÇØ ´ÏÄÌ, ½ºÅ×Àη¹½º ½ºÆ¿, Áø°ø ´ëÀÀ ÆäÀÎÆ® (Aeroglaze Z306) µîÀÇ ¿É¼ÇÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. - Çϵå¿þ¾î : ½Ã½ºÅÛ¿¡¼´Â ¸ðµç ¸·Èù Ȧ¿¡ ½º·çȦ ¶Ç´Â ¹è±â ½ºÅ×Àη¹½º ÁöÆÛ°¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
¿¡¾î·ÎÅØÀº Ç×»ó °í°´°ú ±ä¹ÐÇÏ°Ô Çù·ÂÇÏ¿© ½Ã½ºÅÛÀÌ °¡½º ¹æÃâÀÇ ¿ä±¸ »çÇ×À» ÃæÁ·Çϰųª ±× ÀÌ»óÀÇ ¼º´ÉÀ» ³»µµ·ÏÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
¼³°è ºÎǰ
 À̵¿·® 1mÀÇ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ °íÁø°ø ¸®´Ï¾î ¾×Ãò¿¡ÀÌÅÍ
¿Âµµ °ü¸®
¿Âµµ °ü¸®´Â ¸ðÅÍ¿Í º£¾î¸µÀÇ Áø°øÀÇ ¿ Á¦°Å¿¡ ´ë·ù¸¦ »ç¿ëÇÒ ¼ö ¾øÀ¸¸£¸ð, Áø°ø ½Ã½ºÅÛÀÇ ÇÙ½É ±â¼úÀÔ´Ï´Ù. ¿Âµµ °ü¸®¸¦ÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é °ø±â Áß¿¡¼ ÀÛµ¿µÇ´Â µ¿ÀÏÇÑ ½Ã½ºÅÛ°ú ºñ±³ÇÏ¿© ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ ¼º´ÉÀº ³·°í ¼ö¸íÀÌ ´ÜÃà µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. µû¶ó¼ ¿¡¾î·ÎÅØ´Â ¿ ºÐ¸® ¹æ¹ý°ú ¼öµ¿Àû ¡¤ ´Éµ¿Àû ³Ã°¢ ±â¼úÀÇ °³¹ß¿¡ »ó´çÇÑ ³ë·ÂÀ» ±â¿ï¿© ¿Ô½À´Ï´Ù. ÀÌ·¸°Ô ³Ã°¢ Àüµµ ¹× ¹æ»ç ¸ðµå¸¦ ±Ø´ëÈÇϰí, °ø°£ ³» ¿¿øÀÇ ¿µÇâÀ» °¨¼Ò ¶Ç´Â Á¦°ÅÇÏ´Â µ¥ µµ¿òÀÌ µÇ´Â ±â¼ú·Î °³¹ßÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¼º¸ ¸ðÅÍ
¸®´Ï¾î / ·ÎÅ͸® ¼º¸¸ðÅÍ´Â ÁÖ¿ä ¿¿øÀ̱⠶§¹®¿¡ Áø°ø ½Ã½ºÅÛÀÇ ¿î¿ë¿¡¼ ƯÈ÷ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù. µû¶ó¼ ¿¡¾î·ÎÅØÀº Áø°ø¿¡¼ÀÇ ¸ðÅÍ °ü·Ã ¹®Á¦¸¦ Ư¼öÇÏ°Ô ´Ù·ç´Â ¸ðÅ͸¦ ¼³°è / Á¦Á¶Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. Ư¼ö ÀçÁú¿¡¼ ÀÚ±â ȸ·Î ¼³°è±îÁö, ¿¡¾î·ÎÅØ ¼º¸ ¸ðÅÍ´Â ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ °¡½º ¹æÃâ, ´ÜÀ§ ºÎÇÇ´ç ³ôÀº Ãâ·Â / ÅäÅ©, ±×¸®°í ±ä ¼ö¸íÀ» À§ÇØ ÃÖÀûȵǾî ÀÖ½À´Ï´Ù.
 UHV Nema 23 (BMS60) ȸÀü½Ä ¸ðÅÍ

Á÷°æ 300 mmÀÇ ´ë»ó ¿µ¿ªÀÇ È°¼º ÀÚ±âÀå ÃøÁ¤

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