Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > ½ºÅ×ÀÌÁö > ¸®ÇÁÆ®¿Í Z ½ºÅ×ÀÌÁö
WaferMax Z
Ư¡ | »ç¾ç | ¿ÜÇüµµ | Ç°¸íº¸´Â ¹ý

°ø°£-Á¦¾à Àû¿ëºÐ¾ß¸¦ À§ÇÑ î¸ß¾ Çü»ó

ºñÁ¢ÃË direct-drive

³ôÀº ¹Ýº¹¼º

¿Ïº®ÇÑ °ø¾Ð counterbalance

´ÙÃà Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ WaferMax T¿Í ¿ëÀÌÇÑ Á¶ÇÕ¼º


WaferMax Z´Â 1´ëÀÇ ÄÞÆÑÆ® ÆÑÅ°Áö³»¿¡¼­ °í-Á¤¹Ð ±¸¼º¿ä¼Ò¸¦ ¼öÁ÷ Á¤¿­ÇÏ´Â ±â¼ú¿¡¼­ÀÇ ºñ¾àÀûÀÎ ¾àÁøÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ÀÚüÀÇ ¿ì¼öÇÑ ºñÁ¢ÃË linear ¸ðÅÍ µå¶óÀ̺ê´Â direct position Çǵå¹éÀ» À§ÇÏ¿© °í-Á¤¹Ð ¿£ÄÚ´õ¸¦ äÅÃÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØ MXH multiplier¿Í °áÇÕÇÏ¿©, ºü¸¥ ¼Óµµ¿Í ³ôÀº Á¤È®¼º°ú ´õºÒ¾î 0.83nmÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

¿ì¼öÇÑ ±â°è ¼³°è
º£¾î¸µ ±¸¼ºÇ°Àº ÃÖ°íÀÇ ºÎµå·¯¿ò°ú ½Å·Ú¼ºÀ» À§ÇÏ¿© cross-roller ¹æ½ÄÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ ±¸¼ºÇ°Àº µ¿¿ªÇÐÀû ¼º´ÉÀ» Çâ»ó½ÃÅ°°íÀÚ, ÃÖÀûÀÇ base¿¡ žÀçÇÏ¿© ÀúÁú·®/Àú°ü¼º/°ß°í¼ºÀ» °í·ÁÇϸ鼭 ¼â±â¹æ½ÄÀ¸·Î Á¶¸³µË´Ï´Ù.

WaferMax ZÀÇ Áß¿äÇÑ ±¸¼º¿ä¼Ò´Â 24½Ã°£ ¿¬¼ÓÀûÀÎ Á¦Á¶È¯°æ¿¡¼­ ÀÛµ¿Çϵµ·Ï ¼±Á¤µÇ¾ú½À´Ï´Ù. Screw ±â¹Ý ¶Ç´Â piezo±â¹Ý ¼öÁ÷ stage¿Í ´Þ¸® WaferMax Z´Â Á¤ºñ°¡ ÇÊ¿ä°¡ ¾øÀ¸¸ç ÀÌ°ÍÀº ¼ö³â°£ Ùí-°íÀå ÀÛµ¿À» º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.

Brushless Direct-Drive
ÃÖ°íÀÇ positioning ¼º´ÉÀ» À§ÇØ, WaferMax Z´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ BLMUC-½Ã¸®Áî brushless, slotless linear ¸ðÅ͸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ ¸ðÅÍ´Â brushless direct-drive ¸ðÅÍÀÇ ¸ðµç ÀåÁ¡À»- ¸¶¸ðµÇ´Â brush¿Í Á¤ºñ°¡ ÇÊ¿äÇÑ ±â¾î ¿­(Öª)ÀÇ Üôî¤, ³ôÀº Á¤È®¼º ¹× ºü¸¥ ¼Óµµ - °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ°ÍÀº slotless, ironless ¼³°èÀ̱⠶§¹®¿¡, cogging°ú Åä¿ÀÅ© rippleÀÌ Àý´ë ¾ø½À´Ï´Ù. ÀÌ°ÍÀº WaferMax Z¸¦ À±°û motion, ¿øÈ°ÇÑ scan ¼Óµµ, ¶Ç´Â Á¤¹ÐÇÑ Á¡ÁøÀûÀÎ step¿¡ ÀÌ»óÀûÀ¸·Î ¸¸µì´Ï´Ù.

Á¤È®ÇÑ positioning
Á¤¹ÐÇÑ linear ¿£ÄÚ´õ°¡ ¼±´ÉÀ» º¸ÀåÇϸç, 0.8nm ºÐÇØ´ÉÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ¸ðÅÍ¿Í °í¼º´É linear ¿£ÄÚ´õ´Â Á¤È®¼ºÀ» Çâ»ó½ÃÅ°±â À§ÇØ Á÷Á¢ ºÎÂøµË´Ù.

À¯¿¬ÇÑ Á¶ÇÕ¼º
¿¡¾î·ÎÅØÀº ¿Ïº®ÇÑ ÅëÇÕ ÆÑÅ°Áö¸¦ °ø±ÞÇϱâ À§ÇØ Æø³ÐÀº ¼­º¸ amplifier¿Í ¼±Áø controllers¸¦ Á¦ÀÛÇÕ´Ï´Ù.


 


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
289/19,123