¿¡¾îº£¾î¸µ ½ºÄµ Ãà : ±â°èº£¾î¸µ ½ºÅÜ Ãà
ÀÌÁß ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ ±¸µ¿ ½ºÅÜ Ãà
À̵¿°Å¸® : 1.2M x 1.2M
Linear ¿£ÄÚ´õ ¶Ç´Â ·¹ÀÌÀú °£¼·°è(interferometer)¿¡ ÀÇÇÑ Çǵå¹é |
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| ABL/ABL9000Àº °£´ÜÈ÷ ¸»ÇØ ¼¼°è ÃÖ°í¼º´ÉÀÇ Air BearingÀÔ´Ï´Ù. ¿þÀÌÆÛ, FPD, ±×¸®°í Îà °Ë»ç¿Í Á¦ÀÛ µî Á¤È®¼ºÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â ¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÇÏ°íÀÚ ¼³°èµÈ ABL/ABL9000Àº ¼º´ÉÀÇ »õ·Î¿î Ç¥ÁØÀ» ¼¼¿ü½À´Ï´Ù.
Air Bearing µðÀÚÀÎ ABL/ABL9000Àº ¼öÁ÷ ¹× ¼öÆò¸é ¸ðµÎ¿¡ ´Éµ¿Çü ¿¹¾ÐÀ» °É¾îÁÝ´Ï´Ù. ´ë¸³ÇÏ´Â ¹Ú¸·ÀÇ ¾Ð·ÂÀº º£¾î¸µÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ °£±ØÀ» Çã¿ëÄ¡·Î À¯Áö½Ãŵ´Ï´Ù. ³ÐÀº Ç¥¸éÀû¿¡ ºÎÇϸ¦ ºÐ»ê½ÃÅ°´Â ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)ÀÇ ³ÐÀº Ç¥¸é°ú ÇÔ²², ÀÌ·¯ÇÑ µðÀÚÀÎÀº ¹«°Å¿î ¶Ç´Â ±Þ°ÝÇÑ ºÎÇÏ¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ ¿ì¼öÇÑ °ß°í¼ºÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù.
µ¶ÀÚÀûÀÎ Á¦Á¶±â¼ú·Î Ź¿ùÇÑ ±âÇÏÇÐÀû Ư¼ºµéÀ» °¡Áø ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)À» ¸¸µé°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)Àº ¼º°ú¸¦ ±Ø´ëÈÇÏ´Â °íÀ¯ÀÇ Æò±ÕÈ¿°ú¸¦ °®½À´Ï´Ù. ¹Ú¸· Çʸ§Àº ÀÛÀº Ç¥¸éÀÇ Æ´°ú ´Ù¸¥ ºÒ±ÔÄ¢ÀûÀÎ °ÍµéÀ» ä¿ö ¿ì¼öÇÑ ÇÇÄ¡(pitch), ·Ñ(roll), ¿äÀ×(yaw), ±×¸®°í Á÷¼±µµ¿Í ÆòÆíµµ »ç¾çÀ» ¸¸µé¾î ÁÝ´Ï´Ù.
Linear ¸ðÅÍ µå¶óÀ̺ê ÀÌ stageÀÇ ¹è°æ¿¡´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ BLMC ½Ã¸®Áî Brushless Linear Servo Motor°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¸ðÅÍ Á¦Á¶»ç·Î¼ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ±ä ¿ª»ç¿Í °æÇèÀÌ ÀÌ µðÀÚÀο¡ ¹Ý¿µµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. BLMC´Â Ironless Forcer¸¦ »ç¿ëÇϴµ¥ Zero cogging°ú Ùí-ÀηÂ(no attractive forces)À¸·Î ÀÎÇØ ºñÇÒ µ¥ ¾øÀÌ ¿øÈ°ÇÑ ¸ð¼ÇÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ³ôÀº °µµ¿Í ¼Óµµ¸¦ ³¾ ¼ö ÀÖ¾î, BLMC´Â ÆÄ¿ö¿Í ¼º´ÉÀÇ ÃÖ°íÀÇ Á¶ÇÕÀ̶ó°í ºÒ¸®¾îÁý´Ï´Ù.
Zero Maintenance ¿ì¸®ÀÇ ¿Ïº®ÇÑ ºñÁ¢ÃË½Ä ¿¡¾îº£¾î¸µ(Air Bearing), ºñÁ¢ÃË½Ä ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ µå¶óÀ̺ê, ±×¸®°í ºñÁ¢ÃË Çǵå¹é Àåºñ´Â ¿¡¾î·ÎÅØ Àåºñ¿¡¼ ±â´ëµÇ´Â ³ôÀº ¼º´É¼öÁØ ÇÏ¿¡¼ ´Ù³â°£ÀÇ À¯Áöº¸¼ö°¡ ÇÊ¿ä ¾ø½À´Ï´Ù. À̵¿¿ä¼Ò °£ ±â°èÀûÀÎ Á¢ÃËÀÌ ÀüÇô ¾ø±â ¶§¹®¿¡, ABL1500Àº ½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¸¥ ¼º´É °¨¼Ò³ª ¸¶¸ð°¡ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. ¼ºñ½º ±â°£Àº »ç½Ç ¹«ÇÑÁ¤ÀÌ°í À±È°ÁÖÀ¯°¡ ¾ø±â ¶§¹®¿¡(¿ÀÁ÷ ûÁ¤ÇÑ µå¶óÀÌ °¡½º¸¸ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù) ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)Àº Å©¸°·ë°ú ÀÇ·áºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀ¸·Î Àû¿ëµË´Ï´Ù.
¹è¼± °ü¸® ´Ù³â°£ÀÇ Maintenance Free¸¦ º¸ÀåÇϱâ À§ÇØ ¹è¼± °î·ü¹Ý°æÀ» ½ÅÁßÀ» ±âÇÏ¿© ÃÖÀûÈÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¸¸ÀÇ Çϳª ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÑ °æ¿ì, °¡µ¿Áß´Ü ½Ã°£À» ÃÖ¼ÒÈÇϱâ À§ÇØ ¹è¼±±³Ã¼°¡ ½Å¼Ó ¿ëÀÌÇϵµ·Ï ¸ðµâ µðÀÚÀÎÀÌ µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ÃÖÁ¾ ½Ã½ºÅÛ¿¡ °áÇÕÀÌ ¿ëÀÌÇϵµ·Ï ¿ì¸®ÀÇ CMS(¹è¼±°ü¸®½Ã½ºÅÛ)¿¡ °í°´ÀÌ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ¸ðµç ¹è¼±, °ø±â È£½º, µîÀ» Æ÷ÇÔ½ÃÄ×½À´Ï´Ù. ¾çÂÊ ³¡ ´ÜÀº °í°´ ±â°è¿¡ °£´ÜÈ÷ ºÎÂøÀÌ µÇµµ·Ï ¿ÏÀüÈ÷ Ä¿³ØÅÍ Ã³¸®µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. |
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