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200, 300, 450mm 웨이퍼, 레티클 원판, 그리고
평면 패널 디스플레이용 척
하드코팅과 무전자 니켈을 포함한 다양한 후처리
10μm 표준 평탄도 (표준 300mm 웨이퍼 척 기반)
고객맞춤 디자인 가능 |
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시스템 개발을 단순화하고 비용을 줄이기 위해, 에어로텍은 고 정밀, 고객맞춤 엔지니어링 척을 제작하고 내장하여 왔습니다. 고객맞춤 디자인은 레티클과 평면 판넬 디스플레이와 같은 다른 접착기면 뿐만 아니라. 200 및 300mm 실리콘 웨이퍼용 척을 포함합니다. 에어로텍의 산업선두의 제작 성능은 3 μm의 표준 평탄성과 1 μm의 옵션 평탄성(표준 300mm 웨이퍼 척 기준)을 가진 진공척을 생산합니다. 균일화 구조와 웨이퍼 로딩/언로딩 장비는 디자인내에 내장이 가능합니다. 또한, 에어로텍의 경험이 많은 엔지니어링 기술진은 실질적으로 모든 로봇 팔 조합과 인터페이스하는 척을 디자인할 수 있습니다. 절감된 시스템 비용에서 신속한 개발과 고 정밀성을 위해, 에어로텍의 통합 고객맞춤 척 솔루션을 찾으시기 바랍니다.
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