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QNP-L Series
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

 

 

  • 이송 가능 범위 100μm ~ 600μm
  • 긴 제품수명
  • 고정밀, 무마찰 굴곡 가이드 시스템
  • 뛰어난 위치결정 분해능과 직접 계측 정전용량형 센서 옵션으로 0.007% 까지의 직선성
  • 다른 QNP 시리즈 피에조 나노포지셔너와의 호환성
  • Open-loop 및 진공 버전
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    에어로텍 피에조 나노포지셔닝의 QNP 시리즈는 소형의 고강도 패키지 안에서 나노미터 단위 이하의 성능을 제공합니다. 다양한 이송거리(100 μm 부터 600 μm 까지)와 피드백 옵션들은 현미경부터 광학 조정에 걸친 범위의 응용분야를 위한 이상적인 해결책을 만듭니다.

     

    소형 패키지로 고품질 구현

    QNP 피에조 스테이지들은 고강성과 긴 제품수명을 보증하기 위한 유한 요소 분석법에 의해 최적화된 정밀한 굴곡에 의해 유도됩니다. 결과 설계는 고속 공정 처리와 빠른 Closed Loop 응답성을 가능하게 하는 뛰어난 강성과 공명주파수를 제공합니다. 또한, 이 스테이지들은 전반적인 스테이지 패키지 크기가 축소되면서도 뛰어난 기하학적 성능(진직도와 각도 오차) 제공하기 위해 설계 되었습니다.

     

    고 분해능과 위치결정 정확도QNP-L-Figure-1

    모든 QNP 피에조 스테이지들은 높은 직선성과 나노미터 단위 이하의 분해능을 가능하게 하는 독특한 정전용량형 센서 설계를 사용하는 Closed Loop 피드백 옵션을 가지고 있습니다. 정전용량형 센서들은 뛰어난 정밀도와 반복도를 가능하게 하는 위치결정 운반대출력을 직접적으로 측정합니다.


    초정밀 제어

    에어로텍의 Q 시리즈 컨트롤러들과 드라이버들이 결합되었을 때, QNP 피에조 나노포지셔닝 스테이지들은 나노미터 단위 이하의 위치결정 분해능과 정위치 안정성(지터), 그리고 높은 위치결정 대역폭을 보여줍니다. 에어로텍의 Dynamic Controls Toolbox Motion Designer 패키지는 향상된 추적 에러와 더 빠른 이송 및 정착 시간을 제공하는 Learning Control, Harmonic Cancellation 그리고 Command Shaping 등 향상되었으면서도 사용하기 쉬운 다수의 도구들을 제공합니다.


    자동 측정 및 교정 식별은 에어로텍의 FlashConfig를 사용함으로써 수행할 수 있습니다. 스테이지는 컨트롤러에 업로드된 안정성, 정확성과 “plug-and-play” 운영을 보장하는 축 교정 데이터를 포함하는 모든 운전 파라미터를 자동적으로 식별합니다.

    설계 유연성

    에어로텍의 QNP 피에조 스테이지들은 정전용량 센서 피드백과 함께 사용하거나, 또는 피드백 없이(Open Loop) 사용할 수 있습니다. Open Loop는 작은 크기, 고가속, 나노미터 단위 이하의 위치결정 분해능이 요구되면서도 절대 위치결정 정밀도와 반복도는 필요하지 않은 응용분야에 경비 절감 옵션을 제공합니다. Open Loop 설계는 외부 피드백 소스를 통해 제어되는 피에조 위치에도 사용될 수 있습니다(간섭계, 비전시스템, 광검출기 등).

     

    선택 가능한 고정 플레이트는 인치 단위 또는 미터 단위의 브레드보드 광학 테이블에 직접 고정할 수 있습니다. QNP 시리즈는 일반적인 이동 어댑터 플레이트와 함께 장착된 XY Z 스테이지들도 포함합니다.

     

    모든 QNP 피에조 스테이지들은 요청에 따라 진공처리 할 수 있는 버전으로 사용 가능합니다.

     

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