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Z 스테이지

Z-Axis Nanopositioners

에어로텍의 Z-축 리니어 모터 수직 나노포지셔너는 ANT95-L-Z및 ANT130-L-Z를 포함합니다. 이러한 크로스 롤러 베어링, 다이렉트 드라이브 리니어 수직 스테이지 둘 다 2nm분해능, <2nm정위치 안정성, ±300 nm 정확성을 제공합니다. ANT130-L-Z가 35 또는 60mm의 이동구간 및 10kg까지의 부하를 제공하는 반면, ANT95-L-Z는 25 또는 50mm의 이동구간 및 5.0kg까지의 부하를 제공합니다. 그들은 실험실이나 연중 무휴 제조 환경에서 동일하게 설계되었습니다.

우수한 정확도, 위치 반복도, 정위치 안정도는 높은 시스템 분해능을 요구합니다. ANT95-L-Z및 ANT130-L-Z 2nm 최소 증분 단계 사이즈는 이러한 높은 수준의 성능을 제공합니다. 높은 품질에 의한 훌륭한 정위치 안정도, 안티 크립 크로스 롤러 베어링은 제품의 수명 동안 사실상 관리가 필요 없는 작동을 가능하게 합니다. 에어로텍의 다이렉트 드라이브 기술은 이력현상 또는 백래시가 없고, 정확하고 반복적인 나노미터 규모 모션을 가능하게 합니다.

에어로텍의 나노포지셔너는 독립형 단위 또는 에어로텍의 자체 컨트롤러 및 드라이브를 포함하여 완전한 위치 패키지로 제공받습니다.

ANT95-L-Z Series Linear Motor Vertical Stage ANT130-L-Z Series Linear Motor Vertical Stage

에어로텍의 ANT95시리즈 리니어모터 버티컬 이동 스테이지는 나노미터 수준의 포지셔닝 성능과 함께 25 또는 50mm 이동거리를 제공합니다. ANT95-L-Z와 ANT95-L-Z-PLUS의 크로스-롤러 스테이지는 속도, 정확도, 분해능, 반복도, 신뢰성, 그리고 사이즈를 결합한 최고등급의 제품으로서 2가지 정확도 등급으로 제공됩니다.

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에어로텍의 ANT130시리즈 리니어모터 버티컬 이동 스테이지는 나노미터 수준의 포지셔닝 성능과 함께 35 또는 60mm 이동거리를 제공합니다. ANT130-L-Z와 ANT130-L-Z-PLUS 크로스-롤러 스테이지는 극도의 소형사이즈와 컴팩트한 점유공간에 패키징된 제품이며 손쉬운 시스템 인테그레이션을 위해 유니버설 마운팅과 테이블탑 패턴을 제공합니다.

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2 nm step plot for ANT95-L-Z



2 nm step plot for ANT130-L-Z

Max Travel
25 or 50 mm
Accuracy ±300 nm
Speed
200 mm/s
Load
5.0 kg
Max Travel
35 or 60 mm
Accuracy ±300 nm
Speed
200 mm/s
Load
10 kg

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