ATS3600
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

대형의 맑은 구경

이동범위 : 100mmX100mm ~ 400mmX400mm

고성능 linear motion guide

직교성 : 15 arc second

고정밀의 비접촉 linear 엔코더


ATS3600은 고정밀, 튼튼한, 개방형 스테이지에 대한 수요를 만족시킵니다. 이중-축, 대구경, 개방형 스테이지는 현미경검사, 웨이퍼, 그리고 인쇄된 회로기판의 검사 스케닝과 자동화 조립의 독특한 수요에 초점을 맞춥니다.

디자인과 구축
여타 디자인이 5~6개 이상의 분리된 조각으로 조립되는 것과 대조적으로 ATS3600은 단 3조각 디자인입니다. 이것은 직교성, 직진성, 그리고 평탄성이 초기 기계가공시 컨트롤이 가능하고, 종국에는 스테이지가 탁월한 기하학적 공차와 원천적인 직교성을 갖추게 합니다.

ATS3600은 한축당 총 4개의 트럭을 가진 고정밀 linear motion guide (LMG) 베어링을 사용합니다. 이것은 ATS3600을 신속 및 반복적인 작업에 이상적인 해법으로 만듭니다. 또한, LMG베어링은 탁월한 견고성, 높은 하중용량, 그리고 극도의 작은 마찰력을 보여줍니다.

이 스테이지의 타고난 높은 견고성은 탁월한 성능특성을 유지하면서 측면-구동(SIDE-DRIVEN)이 가능하게 합니다. ATS3600은 전형적인 측면-구동 스테이지에서 향상된 성능으로 주요기능이 업그레이드되었습니다.

모터와 드라이브

ATS3600은 2개의 고성능 NEMA 23 BMS 시리즈의 brushless, slotless 모터를 포함합니다. 이 모터는 극도의 부드러운 motion을 주기 위해 코깅을 완전히 없애고도 brushless 모터의 모든 장점-고 가속성, 마모성 brush, 저발열성-을 갖추고 있습니다.

선택사양의 리니어 엔코더 피드백
높은 분해능의 비접촉 리니어 엔코더가 선택사양으로 가용합니다. 이 비접촉 엔코더는 다양한 작업조건에 대해 탁월한 반복성과 안정성을 보여줍니다. 디지털 및 아날로그 출력버전 모두 가능합니다. 디지털 버전은 1 μm의 분해능을 가지며, 아날로그 버전은 에어로텍의 multiplier box와 부착시 20nm의 분해능에 도달이 가능합니다.

교체용 조합

모든 스테이지의 이동은 단단한 테이블상면을 위한 선택사양과 함께, 단축과 이중축 디자인 모두를 제공합니다. 최고의 성능을 위해 리니어 모터 버전이 가용하다,-ALS3600을 참조바랍니다.


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