ABL3600
특징 | 사양

 깨끗한 대형 구경

모든 축의 완전 예압처리

이중 리니어 모터 구동의 X축 및 Y축

고도의 정확성을 위한 비접촉 리니어 엔코더

 

 

 

ABL3600 이중-축, 대구경, 개방형 프레임, 에어베어링 스테이지는 스케닝 현미경과 마스크 및 웨이퍼 검사의 독특한 수요를 목표로 합니다.

 

 

디자인 및 구축
고도로 견고한 에어베어링과 이중 리니어 모터 구동 축의 결합은 XY 개방형 프레임 스테이지에 탁월한 성능을 제공합니다. ABL3600은 전통적인 기계베어링 개방형 프레임 스테이지를 능가하는 성능의 주요 제품을 대표합니다.

모든 에어로텍의 에어베어링 시스템과 함께, 고유한 제조기술은 직진성, 평탄성, 피치, 롤, 그리고 요를 포함한 비할 데 없는 기하학적 우수성을 가진 스테이지를 사용하는데 활용되고 있습니다. ABL3600은 에어로텍의 최첨단 제작설비에서 제작되며, 전통적인 방법에서 획득할 수 없는 정확한 허용오차를 가지고 가공됩니다.

 

 

브러쉬리스 리니어 서보모터
ABL3600은 매우 까다로운 응용분야의 수요를 충족시키기 위해 고출력 리니어 모터를 활용합니다. 결과로서 다이렉트 드라이브 구조의 모든 장점-백레쉬 및 감김 제로, 탁월한 가속성, 마찰력 제로, 그리고 우수한 서보 견고성-을 가진 스테이지가 만들어 집니다. 많은 응용분야에서 리니어모터 드라이브로만 충족되는 안정적인 모션을 요구합니다. 드라이브 트레인은 마찰과 재순환 원소가 전혀 없기 때문에, ABL3600은 스케닝, 이미징, 및 기타 다른 정밀 응용분야에 이상적입니다.


고도의 정확한 리니어 엔코더 피드백
고분해능, 비접촉, 리니어 엔코더는 표준 피드백 장치입니다. 이 비접촉 엔코더는 작동 조건의 넓은 범위에 걸쳐 탁월한 반복성과 안정성을 제공합니다. 디지털 및 아나로그의 두가지 출력 버전이 모두 가능합니다. 


배선 관리
다년간의 연구결과로 산업에서 최고로 인정받는 배선관리시스템(CMS)을 만들어 졌습니다. 세심하게 배선만곡반경을 최적화하며 다년간의 무정비 작동을 보장하기 위해 최고품질의 배선만을 사용합니다. 만일의 고장발생시에도 에어로텍의 모듈 디자인은 배선 교체가 최단시간내에 이뤄지게 합니다. 최종 시스템내의 통합을 위해, 고객이 요청하는 배선, 에어호스, 등을 에어로텍의 CMS 묶음에 포함하여 관리합니다. 양쪽 끝단은 완전히 커넥터처리되어 고객의 장비에 간단히 결합이 가능합니다. 


고객맞춤 디자인
에어로텍은 다양한 응용분야에 대한 고객의 수요와 사양을 충족하기 위해 고성능 시스템을 설계하고 제작하여 왔습니다. 에어로텍은 고객의 응용분야에 대한 이상적인 솔루션을 만들어 내기 위해 35년 이상의 모션 컨트롤과 포지셔닝 시스템 경험을 활용합니다.

 

 

 


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