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WaferMax T
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

공간 제약의 응용분야를 위한 저상 형상

다이렉트-드라이브 brushless, slotles 서보모터

바로 장착, 고정밀성 로터리 엔코더

25mm 구경

옵션의 진공용 로터리 유니언


에어로텍의 Wafermax T 로터리 스테이지는 낮은 높이의 팩키지에서 고성능을 요구하는 적용분야에 대해 탁월한 선택이 됩니다. 원래는 정밀 웨이퍼 검사를 위해 설계되었으나, WaferMax T는 다른 응용분야에도 적용이 되어 왔습니다. 표준 25mm 구경은 제한된 회전이 요구되는 진공라인의 용이한 통과를 가능하게 합니다. 만일 연속적인 회전이 필요하면, 옵션의 로터리 유니언이 활용될 수 있습니다. 테이블상면은 용이한 웨이퍼-척 탑재가 가능하게 하는 표준 탑재패턴을 포함합니다.

탁월한 기계 디자인
각도 접촉 베어링이 흔들림, 순간 경직, 그리고 회전마찰을 고려하여 최고의 성능을 내게 합니다. 두꺼운 벽과 정밀 연삭된 샤프트는 추가적으로 흔들림을 최소화합니다.

배선관리는 내장된 모터 파워와 피드백 커넥터가 있어 순식간에 해결됩니다. WaferMax T가 자체-충족 장비여서 복수 스테이지 속에 쉽게 내장가능합니다. 서비스 루크 또는 내장된 에어로텍 배선 괸리 시스템(CMS)는 고도의 신뢰가능한 솔루션으로 제공가능합니다.

Brushless 다이렉트-드라이브
Positioning 성능을 최대화하기 위해 WaferMax T는 에어로텍의 S-시리즈 brushless, slotless 모터를 사용합니다. 이 모터는 brushless 다이렉트-드라이브 모터의 모든 장점-마모성 brush 없음, 정비성 기어트레인 없음, 고 가속력과 고속도-을 가집니다. slotless, ironless 디자인이어서 코깅이 전혀 없고 절대적으로 토오크 밀림이 전혀 없습니다. 이것은 WaferMax T를 탁월한 윤곽 모션, 부드러운 스캔 속도, 정밀한 분할단계를 요구하는 응용분야에 이상적으로 만들어 줍니다. 낮은 관성과 백레쉬가 전혀 없어 방향 변화가 잦은 응용분야에 아주 이상적인 솔루션입니다.

정확한 positioning
0.065 arc-초 분해능을 내는 엔코더는 1회전당 10,000라인을 보장합니다. 2048 라인 옵션도 가능합니다. 모터와 고성능 로터리 엔코더는 공통의 샤프트에 바로 장착됩니다.

유연한 조합
에어로텍은 완전한, 결합된 팩키지를 제공하기 위해 광범위한 서보 증폭기와 선진 컨트롤러를 제작합니다.
 



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