ANT130-L
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

nanotechnology motion control mechanical bearing, linear motor stage


ANT130-L 시리즈 스테이지는 속도, 정확도, 분해능, 반복정밀도, 신뢰성, 이동영역에서 최고 등급의 성능을 제공하는 제품으로서 2개 등급의 정확도를 제공합니다. 저상의 형태와 탁월한 성능특성을 가지고서, ANT130-L은 고도의 정확한 정열, 검사, 포지셔닝, 그리고 측정기기를 위한 최상의 솔루션 제품입니다.

비접촉 다이렉트드라이브
리드스크류 또는 볼스크류 드라이브를 활용하는 다른 스테이지와 달리, ANT130-L은 구동 요소로서 중앙구동, 무코깅, 비접촉 방식의 리니어 모터와 엔코더를 채택합니다. 리니어 모터는 다이렉트 드라이브이기 때문에 리드스크류 또는 볼스크류 구동과 관련된 백레쉬, 감김, 또는 “정지마찰”이 전혀 없습니다. 또한, 리니어 모터 드라이브는 더 빠른 속도와 가속도라는 장점을 제공합니다. 컴팩트하며 파워풀한 리니어 모터는 1g의 무부하 최고가속도와 최대 속도 350mm/s로 ANT130-L을 가동합니다. 그 결과, 높은 가속도의 스크류드라이브 또는 동급의 다른 스테이지와 비교시 엄청난 성능차이를 내며 탁월한 처리량을 가진 고정밀 장비를 만들어 냅니다.

우수한 분해능
정열 응용분야를 위해서는, 탁월한 단계별 분해능이 필수적입니다. ANT130-L은 에어로텍의 드라이브와 컨트롤과 결합할 경우 5nm의 미세 단계를 가지고서 이러한 수요를 충족시킵니다. 다이렉트드라이브 리니어 모터는 ANT130-L이 정밀하고 작은 분해능 단위를 만들 수 있도록 합니다. 이것은 단계 정확도가 핵심적인 정열 응용분야에서 특히 중요합니다.

장수명 설계
모든 에어로텍 스테이지 제품과 같이, ANT130-L은 우수한 장기간의 성능을 위해 디자인되었습니다. 리니어 모터 및 리니어 엔코더 모두 비접촉 장비이며, 이는 장기간의 수명뿐 아니라, 완전한 무정비를 의미합니다. 이동 자석트렉 디자인은 케이블 관리의 필요성을 제거하며, 장기간의 신뢰성을 향상시킵니다.

정밀 정열
ANT130-L 시리즈 스테이지는 XY 조립체로 용이하게 조합됩니다. 옵션에는 5 arc seconds까지의 정밀 직교정열과 수직 축 솔루션이 있습니다.






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