Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > ½ºÅ×ÀÌÁö > ¸®ÇÁÆ®¿Í Z ½ºÅ×ÀÌÁö
AVL1000
Ư¡ | »ç¾ç | ¿ÜÇüµµ | Ç°¸íº¸´Â ¹ý

³ôÀº ºÎÇÏ-ÀûÀç ¿ë·®

³ôÀº °ß°í¼º

ºñÁ¢ÃË direct drive

³ôÀº Á¤È®¼º

¿Ïº®ÇÑ °ø¾Ð counterbalance

´ÙÃà Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ARA1000¿Í ¿ëÀÌÇÑ Á¶ÇÕ




Lift Stage


¿¡¾î·ÎÅØÀÇ AVL1000Àº ´ëÇü ÇÏÁßÀ» À§ÇØ Z articulationÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â FPD¿Í °°Àº Àû¿ëºÐ¾ß¿¡¼­ÀÇ ºñ¾àÀûÀÎ ¾àÁøÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ³ôÀº ÇÏÁß °ü¼ºÀ» °¡Áø ´ÙÃà ½Ã½ºÅÛÀº ÀüüÀûÀÎ ±â°è¼º´ÉÀ» Á¦ÇÑÇÏ´Â ±â°èÀûÀÎ ¾ÈÁ¤¼º ¹®Á¦¿¡ Á÷¸éÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. AVL1000Àº ÀÌ·¯ÇÑ ¹®Á¦Á¡À» stage °ß°í¼ºÀ» Å©°Ô Áõ´ë½ÃŲ µ¶ÀÚÀûÀÎ µðÀÚÀÎÀ» ÅëÇØ Á¦°ÅÇÏ¿´½À´Ï´Ù. AVL1000Àº ³ÐÀº footprint¸¦ °¡Áö°í, º£¾î¸µ ±¸¼º¿ä¼Ò¸¦ °¡´ÉÇÑ ¸Ö¸® ¶³¾îÁö°Ô ÇÔÀ¸·Î¼­ °ß°í¼ºÀ» Áõ°¡½Ãŵ´Ï´Ù. ÀÌ µðÀÚÀÎÀº ¿î¹ÝÀ» ÃæºÐÈ÷ ¹ß»ý½ÃÅ°°í, ¿ä±¸µÇÁö ¾ÊÀº ¿òÁ÷ÀÓÀ» ½ÇÁúÀûÀ¸·Î Á¦°ÅÇÏ´Â ±â°èÀûÀÎ ¿ä¼Ò¸¦ ÅëÇÕ½ÃÄ×½À´Ï´Ù.

¿ì¼öÇÑ ±â°è µðÀÚÀÎ
AVL1000Àº Ãø¸é°ú ȸÀü¸éÀÇ ³ôÀº °­µµ¸¦ ¾ò±â À§ÇØ ¾ÆÁÖ °ß°íÇÑ º£¾î¸µ¿¡ žÀçµÈ ¼â±â µðÀÚÀÎÀ» ÀÌ¿ëÇÕ´Ï´Ù. AVL1000ÀÇ ¸ðµç ±¸¼º¿ä¼Ò´Â 24½Ã°£ ¿¬¼ÓÀûÀÎ »ê¾÷ȯ°æ¿¡¼­ ÀÛµ¿Çϵµ·Ï ¼±Á¤µÇ¾ú½À´Ï´Ù. Screw ±â¹Ý ¶Ç´Â piezo±â¹Ý ¼öÁ÷ stage¿Í ´Þ¸® AVL125´Â Á¤ºñ°¡ ÇÊ¿ä°¡ ¾øÀ¸¸ç ÀÌ°ÍÀº ¼ö³â°£ Ùí-°íÀå ÀÛµ¿À» º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.

Brushless Direct-Drive
ÃÖ°íÀÇ positioning ¼º´ÉÀ» À§ÇØ, AVL1000Àº ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ BLM½Ã¸®Áî brushless, slotless linear motor¸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ ¸ðÅÍ´Â brushless direct-drive ¸ðÅÍÀÇ ¸ðµç ÀåÁ¡À»-¸¶¸ðµÇ´Â brush¿Í Á¤ºñ¸¦ ¿äÇÏ´Â ±â¾î æê Üôî¤, ³ôÀº °¡¼Ó¼º, ºü¸¥ ¼Óµµ- °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. AVL1000Àº ¸ðÅÍ°¡ cogging force¸¦ ÀüÇô ¸¸µéÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡ ³ôÀº ´ë¿ªÆø ÀÚµ¿ÃÊÁ¡ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÔ´Ï´Ù.

³ôÀº Á¤È®¼º
Á¤¹Ð linear ¿£ÄÚ´õ¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© positioning ¼º´ÉÀ» º¸ÀåÇϸç, 0.5nm ºÐÇØ´ÉÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ¸ðÅÍ¿Í ¿£ÄÚ´õ´Â Á÷Á¢ ÇÔ²² ÀåÂøµÇ¾î, ±â°èÀûÀÎ ÀÌ·ÂÇö»ó(hysteresis)À» Á¦°ÅÇÔÀ¸·Î¼­ stageÀÇ Á¤È®¼ºÀ» Áõ°¡½Ãŵ´Ï´Ù.

À¯¿¬ÇÑ Á¶ÇÕ
¿¡¾î·ÎÅØÀº ¶ÇÇÑ ¿Ïº®ÇÑ ÅëÇÕ ÆÑÅ°Áö¸¦ Á¦°øÇÏ´Â »óÈ£º¸¿ÏÀûÀÎ stage ½Ã½ºÅÛÀÇ Àüü Á¦Ç°±¸¼º°ú ´õºÒ¾î Æø³ÐÀº ¼­º¸ amplifier¿Í ¼±Áø±â¼úÀÇ controller ±âÁ¾À» Á¦ÀÛÇÕ´Ï´Ù.


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
262/19,096