ABL1500WB
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

큰 Offset을 위한 넓은 본체

450 mm 웨이퍼 호환

강력한 Dual 리니어 모터 구동

고성능 스캐닝 및 검사를 위한 설계

모든 에어베어링 표면 상에 공압에 의한 예압 하중 적용

나노미터 수준의 분해능을 제공하는 리니어 엔코더 피드백

무거운 하중과 뛰어난 기하학적 성능을 위한 고강성

200 mm 에서 500 mm까지 이송거리의 4가지 모델

 

 

 

ABL1500WB는 ABL1500 시리즈 에어베어링 스테이지의 넓은 본체 버전입니다. 더 넓은 본체는 큰 Offset이 있는 응용분야 또는 긴 이송거리의 XY 스테이지에서의 낮은 축을 위해 이상적인 ABL1500WB을 만듭니다. ABL1500WB는 효과적으로 표준 ABL1500 스테이지의 힘 출력을 두 배로 만든 Dual 리니어 모터와 결합하였습니다.

첨단 기술 산업, 특히 반도체, 고성능 검사 및 측정 분야에서 기존의 볼 스크류와 기계 베어링 위치결정 시스템 성능을 넘어서는 위치결정 허용오차를 요구합니다. 완벽히 능동적인 예압, 뛰어난 고강도 및 우수한 기하학적 특징을 가진 ABL1500WB은 그런 요구들을 만족시키기 위해 특별히 설계되었습니다.

 

높은 동적인 성능을 위한 에어베어링 설계

ABL1500WB는 수직 및 수평 표면 양쪽에서 공압에 의한 예압 하중을 적용합니다. 서로 다른 박막 필름 압력은 약간의 베어링 공간 허용오차를 유지합니다. 이 설계는 넓은 표면 면적 전반에 하중을 분포시키는 큰 에어베어링 표면에 더하여, 무겁거나 Offset 이 있는 하중을 위해 이상적인 우수한 강도를 제공합니다.
에어로텍의 제조 기술은 탁월한 기하학적 특성을 가진 스테이지를 만들며, 우수한 피치, Roll, Yaw, 직진도 및 평탄도 사양을 산출하여 성능을 극대화 합니다.

 

리니어 모터 구동

이 스테이지 이면에 있는 구동력은 에어로텍의 BLMC 시리즈 브러시리스 리니어 서보 모터입니다. 코깅과 인력이 없는 BLMC는 Ironless Forcer를 이용해 타의 추종을 불허하는 모션의 부드러움을 가져옵니다.

 

유지보수 필요 없음

우리의 완전한 비접촉 에어베어링, 비접촉 리니어 모터 구동 및 비접촉 피드백 장치는 에어로텍 장비에 기대하는 고성능 수준에서 수년간의 유지보수가 필요 없는 구동을 보장합니다. 움직이는 요소들 사이에 기계적 접촉이 없기 때문에, ABL1500WB는 시간이 흘러도 마모 또는 성능 감소가 없음을 경험하게 합니다. 사용기간은 청정, 건조 가스만을 사용해 주유가 필요 없으므로, 사용기간은 실질적으로 무한대인 에어베어링은 Clean Room과 의학 응용분야에 이상적입니다.

 

케이블 관리

우리는 수년간의 유지보수가 필요 없는 구동을 보장하기 위해 신중히 케이블 굴곡 반경을 최적화합니다. 만일 실패할 경우에는, 에어로텍의 모듈식의 설계가 최소의 고장시간으로 케이블 교체를 빠르고 쉽게 만듭니다.
우리는 최종 시스템으로의 집적을 가능하게 하기 위해, 모든 고객들이 필요로 하는 케이블, 에어 호스 등을 우리의 CMS Bundle에 포함시킵니다. 양 끝은 고객이 간단하게 기계로 집적하기 위해 완벽히 커넥팅됩니다. 


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