MPS75SLE
특징

 

설계 특징

이송거리 100mm의 소형 스테이지

낮은 열팽창 유리 스케일 리니어 엔코더

정밀 연삭 볼 스크류 구동

DC 서보 또는 스테핑 모터

안티크립 크로스 롤러 베어링

고분해능 (0.025 μm), 반복도 (±0.1 μm), 정확도 (±0.75 μm)

벨로우즈 커버 옵션 가능

소형의 다축 구성

 MPS75SL Mechanical Bearing, Ball-Screw Stage

에어로텍 MPS75SLE는 리니어 엔코더를 통해 직접 측정 피드백의 장점을 제공하는 소형의 고성능 리니어 위치결정 스테이지 입니다. MPS75SLE는 광학 위치결정, 표면 계측의 Z축 위치결정 센서 또는 고정밀 정렬의 응용분야에 적합한 이상적인 고정밀 스테이지 입니다.  다축 스테이지 구성은 다수의 어댑터 브래킷을 사용하고, 전체 MPS 스테이지 제품군의 고유의 호환성을 장착한 MPS 리니어와 로터리 스테이지와 쉽게 조립 될 수 있습니다.  

초정밀 설계

정밀하게 연마되어 장착된 볼 스크류는 리니어 엔코더와 결합하여 뛰어난 정확도, 반복도, 최대 25 nm의 위치결정 분해능을 제공합니다.  안티 크립 크로스 롤러 베어링은 소형 패키지로 매우 부드러운 이송과 높은 부하 용량을 제공합니다.

강철(13 ppm/˚C)을 사용하거나 또는 8 PPM/˚C 열팽창 계수가의 유리 스케일을 사용한 경쟁력있는 디자인과 다르게, MPS75SLE는 오랜 기간 동안 높은 정확도와 반복 위치결정을 가능하게 하는 낮은 열팽창(3.3 ppm/˚C)의 정밀 유리 스케일로 이용 가능합니다. 리니어 엔코더는 모든 표준 컨트롤러와 쉽게 통합할 수 있도록 증폭된 정현파(1 Vpp) 또는  50 nm TTL 디지털 출력값으로 이용가능합니다.

고도의 설정 유연성

MPS75SLE 모터 옵션은 높은 분해능 로터리 엔코더 또는 스테핑 모터의 DC 서보 모터를 포함합니다.  마치 MPS75SL처럼 SLE은 벨로우즈  통로커버를 선택하여 사용할 수 있습니다.

옵션인 브레드보드 장착 플레이트는 인치단위계와 미터단위계 브레드보드에 직접 장착할 수 있는 기능을 제공합니다.  모든 MPS 스테이지의 고유 장착 호환성은 다축 정렬로 단순한 장착을 가능하게 합니다.


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