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Áø°ø

 

ÁÖ¿ä »ê¾÷º° Àü¹®¼º

    Àç·á ¼±ÅÃ
    Ç¥¸é Á¶Á¤
    °¡»ó ´©¼³ÀÇ ¹èÁ¦
    À±È°Á¦ ¼±ÅÃ
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    Áø°ø º£ÀÌÅ·
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    ÀÚ±âÀå Á¦¾î

    Aerotech Áø°øÀÇ ÀåÁ¡

    ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ±¤¹üÀ§ÇÑ ÀÀ¿ë °æÇè, ºñ±³ºÒ°¡ÇÑ Á¦Ç° ¹üÀ§, dzºÎÇÑ ¿£Áö´Ï¾î¸µ ±â´ÉÀº Áø°ø ´ëÀÀ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛÀÇ ÃÖÀûÀÇ ÆÄÆ®³ÊÀÔ´Ï´Ù. â¾÷ ÀÌ·¡ ¿¡¾î·ÎÅØÀº ÃÖ°í ¼º´ÉÀÇ ¸ð¼Ç Á¦¾î¿Í À§Ä¡ °áÁ¤ ½Ã½ºÅÛÀ» ¼³°è ¡¤ Á¦Á¶ÇÏ¿© Á¦°øÇÏ°í ¿Ô½À´Ï´Ù. Áø°ø ´ëÀÀ Ç÷§Æûµµ ¿¹¿Ü´Â ¾Æ´Õ´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀº 30³â¿¡ °ÉÃÄ Ç¥ÁØ ¹× »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ Áø°ø ½Ã½ºÅÛÀÇ ±¸ÃàÇØ¿Ô½À´Ï´Ù. ´ç»çÀÇ Áø°ø Àû¿ë ½ÇÀûÀº ±º»ç/Ç×°ø ¿ìÁÖ, ¿¬±¸, ¹ÝµµÃ¼ ¹× Àç·á °¡°øÀ» Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù. ÀϹÝÀûÀÎ ¿ëµµ :

    • -  EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ
      -  ½ºÄ³´× ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ (SEM)
      -  À̿ºö ÇÁ·ÎÆÄÀÏ ºÐ¼®
      -  ÁõÂø
      -  À§¼º ±¸¼º ¿ä¼Ò ½ÃÇè
    • -  Åõ°ú ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ (TEM)
    • -  ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ
      -  ±¤ÇÐ ¿¬¸¶
      -  °úÇÐ ¿¬±¸
      -  X¼± ´ÜÃþ ÃÔ¿µ

     

     

     

     

     

    Aerotech : Áø°ø ¸ð¼Ç Ç÷§Æû ÆÄÆ®³Ê·Î ¼±Á¤µÇ´Â ±â¾÷

    Áø°ø °øÇÐÀÇ Àü¹®¼º 

    ´ç»çÀÇ Ç³ºÎÇÑ Å×½ºÆ® ´É·Â¿¡ µû¶ó ³³Ç° Àü¿¡ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛÀÇ ¿ÏÀüÇÑ Ç°ÁúÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. °íµµ·Î ÅëÇÕµÈ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛ °ø±Þ ¾÷ü·Î¼­, ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛÀ» ¿Ïº®ÇÏ°Ô ÃÖÀûÈ­ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ³ôÀº µ¿Àû ½Ã½ºÅÛÀ» À§ÇØ, ¿­Àû ¸ðµ¨¸µ°ú ½Ç¹« °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î È°¼º ³Ã°¢ ¿É¼ÇÀ» ¸î °¡Áö ÁغñÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

    ÀÚ±âÀåÀÇ ¿µÇâÀ» ¹Þ±â ½¬¿î ºÐ¾ß¿¡´Â, ÀÚ±âÀå Â÷Æó ¹× ºÀ¼â ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇÑ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ±¤¹üÀ§ÇÑ °æÇèÀÌ À¯¿ëÇÕ´Ï´Ù. Àü¹®¼ºÀ» °®°í ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾î¸µ Á÷¿øÀÇ Àü¹®¼ºÀº ¸ðµç ÁÖ¿ä ¸ð¼Ç ±â¼ú ¿µ¿ª¿¡ À̸¨´Ï´Ù :

    - Á¤¹Ð ±â°è ¼³°è
    - Áøµ¿ ¹× Á¦¾î
    - ÀÚ±â ȸ·Î ¼³°è
    - Àü·Â °øÇÐ ¼³°è
    - ¼­º¸ ½Ã½ºÅÛ
    - ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î °³¹ß

    Áø°ø Á¦Á¶ ½Ã¼³

    ¿¡¾î·ÎÅØÀº UHV ½Ã½ºÅÛÀÇ ±¸Ãà¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ Á¦¾î ȯ°æÀÎ ISO Ŭ·¡½º 6ÀÇ Å¬¸°·ëÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ´ë±Ô¸ð »ý»ê ½Ã¼³ÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ´ç»çÀÇ ±â°è Á¦Ç°Àº Áø°ø ÇØ´ç ±¸¼º ¿ä¼ÒÀÇ »ý»ê¿¡ ÃæºÐÈ÷ ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Áø°ø ½ÇÇè½Ç, Àüü ÇöÀå ºÎÇ° Å©¸®´× ½Ã¼³, ±×¸®°í Á¶¸³ ¹× ½ÃÇè¿¡ ÃæºÐÈ÷ ¼÷·ÃµÈ Á÷¿øµéÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.

    Áø°ø ½ºÅ×ÀÌÁö ¼³°è ¿ä¼Ò

    ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ±¤¹üÀ§ÇÑ Ç¥ÁØ ½ºÅ×ÀÌÁö Á¦Ç°Àº Áø°ø Áö¿ø ¹öÀü¿¡¼­ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Ç¥ÁØ Ç÷§Æû ÀÌ¿Ü¿¡ ƯÁ¤ ºÐ¾ßÀÇ ¿ä±¸¿¡ ¸ÂÃç ¼³°èµÇ´Â »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ ½Ã½ºÅÛµµ ÀÌ¿ë°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ¸ðµç Áø°ø ´ëÀÀ ¸ð¼Ç Ç÷§ÆûÀº ÆßÇÁÀÇ ´Ù¿î ŸÀÓ, °ø°£ÀÇ ¿À¿°, ¿Âµµ °ü¸®ÀÇ ¹®Á¦¸¦ ÃÖ¼ÒÈ­ÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ·¯ÇÑ ½Ã½ºÅÛÀº ÀÚ±âÀåÀÇ °¨¼Ò µî ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡¼­ÀÇ ÁÖ¿ä °í·Á »çÇ×À» ÅëÇÕ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

    ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Àü¹®ºÐ¾ß :

    • - Àç·á ¼±ÅÃ
      - Ç¥¸é Á¶Á¤
      - °¡»ó ´©¼³ÀÇ ¹èÁ¦
      - À±È°Á¦ ¼±ÅÃ
      - Ã»¼Ò
    • - Áø°ø º£ÀÌÅ·
      - Ã³¸®
      - ¿Âµµ °ü¸®
      - ÀÚ±âÀå Á¦¾î
      - ÆÐÅ°Áö

     

     

     

     

     

     

    ¿¡¾î·ÎÅØ¿¡¼­ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Áø°ø ¿É¼Ç

    Level

    Torr

    mBar

    kPa

    Low Vacuum (VAC3)

    1.0 x 10-3

    1.3 x 10-3

    1.3 x 10-4

    High Vacuum (VAC6)

    1.0 x 10-6

    1.3 x 10-6

    1.3 x 10-7

    Ultra-High Vacuum (UHV)

    ¡Â1.0 x 10-7

    ¡Â1.3 x 10-7

    ¡Â1.3 x 10-8


    Àç·á ¼±ÅÃ

    »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Àç·á´Â Áø°ø ·¹º§, ÀÀ¿ëºÐ¾ß, ÀÛµ¿ ¿Âµµ µî¿¡ µû¶ó ´Ù¸£±â ¶§¹®¿¡, ¿¡¾î·ÎÅØÀº Áú·® ¼Õ½Ç ºñÀ²(TML)°ú Àç ÀÀÃà Áú·® ºñÀ²(CVCM)À» Á¦¾îÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ ¿É¼ÇÀ» Á¦°øÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

    - À±È°Á¦ : Áø°ø ¼öÁØ°ú °í°´ÀÇ °øÁ¤¿¡ µû¶ó ³·Àº Áõ±â ¾Ð·Â À±È°Á¦¸¦ ¼±ÅÃÇÕ´Ï´Ù.
    - ÄÉÀÌºí °ü¸® ½Ã½ºÅÛ (CMS) : CMS¸¦ ±¸ÃàÇÏ´Â Àç·á´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î Å×ÇÁ·Ð(R) Àý¿¬ ¿ÍÀ̾î (MIL-C-27500) ¶Ç´Â Kapton°ú PEEK¢â µî ´Ù¾çÇÑ ÀçÁúÀÇ Æ¯¼ö Àü±â Ä¿³ØÅ͸¦ ÇÔ²² È°¿ëÇÕ´Ï´Ù. °¢Á¾ ¿¬°áÀåÄ¡ ¿É¼Çµµ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
    - Ç¥¸é ¸¶¹«¸® : Ç¥¸é ¸¶¹«¸®´Â ¹«ÇǺ¹ ¾Ë·ç¹Ì´½, ¹«ÀüÇØ ´ÏÄÌ, ½ºÅ×Àη¹½º ½ºÆ¿, Áø°ø ´ëÀÀ ÆäÀÎÆ® (Aeroglaze Z306) µîÀÇ ¿É¼ÇÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
    - Çϵå¿þ¾î : ½Ã½ºÅÛ¿¡¼­´Â ¸ðµç ¸·Èù Ȧ¿¡ ½º·çȦ ¶Ç´Â ¹è±â ½ºÅ×Àη¹½º ÁöÆÛ°¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù.

    ¿¡¾î·ÎÅØÀº Ç×»ó °í°´°ú ±ä¹ÐÇÏ°Ô Çù·ÂÇÏ¿© ½Ã½ºÅÛÀÌ °¡½º ¹æÃâÀÇ ¿ä±¸ »çÇ×À» ÃæÁ·Çϰųª ±× ÀÌ»óÀÇ ¼º´ÉÀ» ³»µµ·ÏÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. 

    ¼³°è ºÎÇ°

     

    Vacuum Web Page9
    À̵¿·® 1mÀÇ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ °íÁø°ø ¸®´Ï¾î ¾×Ãò¿¡ÀÌÅÍ

    thermal_image¿Âµµ °ü¸®

    ¿Âµµ °ü¸®´Â ¸ðÅÍ¿Í º£¾î¸µÀÇ Áø°øÀÇ ¿­ Á¦°Å¿¡ ´ë·ù¸¦ »ç¿ëÇÒ ¼ö ¾øÀ¸¸£¸ð, Áø°ø ½Ã½ºÅÛÀÇ ÇÙ½É ±â¼úÀÔ´Ï´Ù. ¿Âµµ °ü¸®¸¦ÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é °ø±â Áß¿¡¼­ ÀÛµ¿µÇ´Â µ¿ÀÏÇÑ ½Ã½ºÅÛ°ú ºñ±³ÇÏ¿© ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ ¼º´ÉÀº ³·°í ¼ö¸íÀÌ ´ÜÃà µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. µû¶ó¼­ ¿¡¾î·ÎÅØ´Â ¿­ ºÐ¸® ¹æ¹ý°ú ¼öµ¿Àû ¡¤ ´Éµ¿Àû ³Ã°¢ ±â¼úÀÇ °³¹ß¿¡ »ó´çÇÑ ³ë·ÂÀ» ±â¿ï¿© ¿Ô½À´Ï´Ù. ÀÌ·¸°Ô ³Ã°¢ Àüµµ ¹× ¹æ»ç ¸ðµå¸¦ ±Ø´ëÈ­ÇÏ°í, °ø°£ ³» ¿­¿øÀÇ ¿µÇâÀ» °¨¼Ò ¶Ç´Â Á¦°ÅÇÏ´Â µ¥ µµ¿òÀÌ µÇ´Â ±â¼ú·Î °³¹ßÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

    ¼­º¸ ¸ðÅÍ

    ¸®´Ï¾î / ·ÎÅ͸® ¼­º¸¸ðÅÍ´Â ÁÖ¿ä ¿­¿øÀ̱⠶§¹®¿¡ Áø°ø ½Ã½ºÅÛÀÇ ¿î¿ë¿¡¼­ ƯÈ÷ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù. µû¶ó¼­ ¿¡¾î·ÎÅØÀº Áø°ø¿¡¼­ÀÇ ¸ðÅÍ °ü·Ã ¹®Á¦¸¦ Ư¼öÇÏ°Ô ´Ù·ç´Â ¸ðÅ͸¦ ¼³°è / Á¦Á¶ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. Ư¼ö ÀçÁú¿¡¼­ ÀÚ±â ȸ·Î ¼³°è±îÁö, ¿¡¾î·ÎÅØ ¼­º¸ ¸ðÅÍ´Â ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ °¡½º ¹æÃâ, ´ÜÀ§ ºÎÇÇ´ç ³ôÀº Ãâ·Â / ÅäÅ©, ±×¸®°í ±ä ¼ö¸íÀ» À§ÇØ ÃÖÀûÈ­µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.

    Vacuum Web Page11
    UHV Nema 23 (BMS60) ȸÀü½Ä ¸ðÅÍ

    Aerotech-High-Vacuum-Systems-New


    Á÷°æ 300 mmÀÇ ´ë»ó ¿µ¿ªÀÇ È°¼º ÀÚ±âÀå ÃøÁ¤
    Vacuum Web Page13



     

     

     

     

     

     

     

      

     Brochure Cover

    Download Motion and Automation for Test, Measurement and Inspection Brochure (.pdf) 

     


    ¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
    289/19,123