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ABRS
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

Direct-drive slotless Brushless servo motor

우수한 속도 안정성을 위한 제로 코깅(cogging) 모터

우수한 에러 모션(error motion)과 와블 성능(wobble performance)

일체형이 고정밀 로터리 엔코더

낮은 높이, 평면 디자인

비접촉 타입


에어로텍의 ABRS시리즈, 로터리 에어 베어링 스테이지는 독자적인 낮은 높이의 형상에서 우수한 각도 포지셔닝, 속도 안정성, 그리고 에러모션(error motion) 성능을 제공한다. ABRS는 웨이퍼 검사, 高-정밀 계측, x-ray 디플렉션시스템(Diffraction system), 광학 검사 및 제조, 그리고 MEMS/나노기술 장치 제작 등 정밀수요에 대응하고자 설계되었다.

Compact Package
ABRS 시리즈, Direct-drive Rotary stage의 디자인은 stage 높이를 최소화하였다. Stage의 낮은 형상은 “적재(stack-up)”와 관련된 에러를 최소화시키면서 시스템의 효율적인 작동높이를 줄인다. 전체적인 낮은 형태와 더불어, ABRS 시리즈는 제품 이송, 레이저 빔 전달, 배선 정리, 그리고 개별-적용분야의 요구사항에 유용하도록 중공(中空) 설계되어 있다.

우수한 기계역학 디자인
ABRS 디자인은 높은 견고성과 부하 용량을 위한 넓은 공기-베어링 표면이 특징인데, 이것은 축방향 및 반지름방향의 탁월한 에러모션(error motion)뿐만 아니라, 우수한 기울임 에러모션(tilt error motion)도 만들어 준다. 합성 페이스 에러모션(Resultant face error motion)은 특수한 평면 성능을 요구하는 수익성이 큰 적용분야에 다른 로터리 에어 베어링과 스핀들 대비 아주 양호하다.

Brushless Direct-Drive
포지셔닝(Positioning) 성능의 최대화를 위해, ABRS 시리즈는 에어로텍이 S-시리즈 Slotless Brushless Motor를 사용한다. 이 모터는 열발생을 최소화하면서 높은 토크 출력을 내도록 앞서가는 磁氣 회로 디자인을 사용한다. Slotless 디자인은 근본적으로 제로코깅(Zero Cogging) 및 토크 리플-프리(Torque riffle-free) 디자인이다. 이것은 저속 또는 고속에서 부드러운 검사속도를 요구하는 적용분야에 ABRS stage를 이상적으로 만들어 준다.

정확한 포지셔닝(positioning)
광학 엔코더는 ABRS에 표준사양이다. 에어로텍의 피드백 배수기(multipliers)와 제어기에 장착하여, 0.03 arc second 이하의 분해능을 얻을 수 있다.

고객 디자인
ABRS는 비율표와 각종 관성별 적용분야에 대해 고객 맞춤 디자인이 가능하다.

 


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