ALS130H
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

75nm 양방향 반복성

초정밀 모션용 다이렉트 드라이브 리니어 모터

고 정밀도 비접촉 글라스 스케일 리니어 엔코더

부드러운 모션을 위한 케이지 변형 억제 크로스롤러 베어링

작은 접지면으로 탁월한 성능 구현

연속적인 힘 23 N (5.2 lb)의 리니어 서보 모터


나노미터 이하의 분해능과 우수한 양방향 반복성, 그리고, 뛰어난 저속 성능을 지닌 ALS130H는 고성능 시험과 측정, 검사, 그리고, 다른 까다로운 응용에 대한 최상의 솔루션 입니다.

리니어 모터 구동
측면 구동 리드 스크류를 활용하는 많은 스테이지와 달리, ALS130H는 구동하는 요소로 중앙 구동, 코깅 없는 리니어 모터를 채택합니다. 리니어 모터가 다이렉트 드라이브 장치이기 때문에, 일반적인 리드 스크류나 볼 스크류 구동에 관련되어 있는 백래시, 감김, 또는 “정지마찰”이 없습니다.

또한, 리니어 모터 구동은 더 높은 속도와 가속도의 이점을 제공합니다. 콤팩트 하면서도 강력한 리니어 모터는 최대 1g의 무부하 가속도와 300 mm/s의 최대 속도로 ALS130H를 구동합니다. 그 결과 비교되는 고 정밀도 스크류 구동 스테이지를 훨씬 능가하는 탁월한 처리능력을 가진 고성능 스테이지로 평가 받습니다.

뛰어난 분해능
정렬 응용에서는 우수한 스텝당 분해능이 핵심입니다. ALS130H는 에어로텍의 컨트롤러와 결합했을 때 0.5nm의 분해능으로 이러한 요구조건을 충족시킵니다. ALS130H는 다이렉트 드라이브 리니어 모터를 사용하여 정밀하며 작은 분해능 스텝을 만들수 있는데, 이것은 스텝 정밀도가 핵심인 정렬 응용에 특히 중요합니다.
게다가, 리니어 모터와 높은 분해능 엔코더 시스템은 탁월한 위치 내 안정성도 제공하여 줍니다.

우수한 제품 구조
에어로텍의 매우 견고한 구조와 콤팩트한 2개 부품 설계는 비길데 없는 제품 구조 허용치를 가진 스테이지를 구현합니다. 그 결과, 표준 스테이지의 직진도와 편평도는 전체 이동거리에 대해 <±2 입니다.

부드러운 이동(Smooth Travel)
부드러우며, 진동이 없는 모션을 목적으로 설계된 ALS130H는 모션의 뛰어난 부드러움을 위해 정밀한 케이지 변형 억제 크로스롤러 베어링을 사용합니다. 베어링 시스템이나 구동 시스템 중 어느 것도 임의의 재 순환 요소를 사용하지 않기 때문에, ALS130H는 스캐닝과 검사 응용에 요구되는 우수한 리플 없는 모션을 시현합니다.

장수명 설계
에어로텍 제품군에 있는 모든 스테이지처럼, ALS130H는 오랜 기간의 우수한 성능유지를 위해 설계되었습니다. 리니어 모터와 리니어 엔코더 모두 비 접촉 장치로서 장수명을 구현하는 것 뿐만 아니라 전체적으로 유지 보수가 필요가 없습니다. 이동 하는 자석 트랙 설계는 케이블 관리의 필요성를 없애고 나아가 오랜 기간 동안 신뢰성을 향상시켜 줍니다.

정밀한 정렬
ALS130H 시리즈 스테이지는 XY 조립으로 쉽게 구성됩니다. 옵션은 5arcsec까지의 정밀한 직교 정렬과 유용한 수직 축 솔루션을 포함합니다
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