Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > ½ºÅ×ÀÌÁö > ¸®ÇÁÆ®¿Í Z ½ºÅ×ÀÌÁö
AVS100/AVSI100
Ư¡ | »ç¾ç | ¿ÜÇüµµ | 품명보는 법

±ä ¼ö¸íÀÇ linear °¡ÀÌµå º£¾î¸µ ½Ã½ºÅÛ

¹é¸¸ºÐÀÇ 1¹ÌÅͺ¸´Ù ÀÛÀº ¼öÄ¡ÀÇ closed-loop positioning

Àú-ºñ¿ë °í¼º´É stage

6, 13, ±×¸®°í 25nm ÀÌ¼Û ¸ðµ¨

Á¤¹Ð¹Ù´Ú º¼½ºÅ©·ù

Çʼö ¶Ç´Â ÷­ËÛ °¡´ÉÇÑ ¸ðÅÍ




¿¡¾î·ÎÅØÀÇ AVS100/AVSI100 ½Ã¸®Áî stage´Â ¼öÆò¸éÀ§·Î »ó½ÂÇÏ´Â ¾ÆÁÖ ÀÛÀº Á¡ÁøÀûÀÎ ¿òÁ÷ÀÓÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ÀÛÀº Çü»ó°ú Á¤¹ÐÇÑ motion ¿ë·® Ư¼ºÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç¿Í ½ÃÇè, ±¤¼¶À¯ Á¶¸³°ú °Ë»ç, ÀÚµ¿È­ °ø±¸ Á¤¿­, ±â°è vision °Ë»ç½Ã½ºÅÛ ¹× ·¹ÀÌÀú °¡°ø µîÀÇ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÔ´Ï´Ù.

AVSI100 ½Ã¸®Áî stage´Â º¸´Ù ´õ ÀÛÀº footprint³»¿¡¼­ AVS100 stage¿Í µ¿ÀÏÇÑ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. AVSI100Àº ¸ðÅÍ ºÎÂøÀÌ ÀüÇô ¾øÀÌ µå¶óÀÌºê ½ºÅ©·ù¿Í ¸ðÅ͸¦ Á÷Á¢ ÅëÇÕÇϴµ¥, ÀÌ·¸°Ô ÇÔÀ¸·Î¼­ stage¸¦ »ó´çÈ÷ ª°Ô ÇÏ¿© ÁÝ´Ï´Ù.

¿ì¼öÇÑ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÏ´Â Ç°Áú ¼³°è
¼öÁ÷¸é¿¡¼­ÀÇ AVS100/AVSI100ÀÇ Á¤¹ÐÇÑ ºÎÇÏ»ó½ÂÀº ¿òÁ÷ÀÌ´Â ¼â±âÇü ¼³°è·Î ÀÌ·ïÁý´Ï´Ù. Á¤¹Ð °¡°øµÈ ¼â±â ºí·ÏÀº Á¤¹Ð ¹Ù´Ú ball screw¿¡¼­ ³ª¿Â ¼öÆò ¿òÁ÷ÀÓÀ» AVS100/AVSI100 ½Ã¸®ÁîÀÇ Å×ÀÌºí »óºÎ¸éÀÇ ¼öÁ÷ »ó½ÂÀ¸·Î ÀüȯÇÕ´Ï´Ù.

Wiper·Î ºÀÇÕó¸®µÈ linear motion °¡ÀÌµå º£¾î¸µÀº ¿ì¼öÇÑ ÇÏÁß ¿ë·®°ú ±ä ¼ö¸í, ±×¸®°í ºÎµå·´°í Á¤¹ÐÇÑ motionÀ» ÅëÇÕÀûÀ¸·Î Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. Ç÷§ÆûÀÇ Áøµ¿°ú ¼öÆòÀÇ ÆíÂ÷¸¦ ¿ÏÀüÈ÷ Á¦°ÅÇÏ¿© ¾ÈÁ¤ÀûÀÌ°í ÆòÇàÇÑ ¼öÁ÷ motionÀ» º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.

¼â±â °¢µµÀÇ ½ÅÁßÇÑ ¼³°è¿Í º£¾î¸µ ½Ã½ºÅÛÀº AVS100/AVSI100 ½Ã¸®Áî°¡ ÄÞÆÑÆ®ÇÑ Çü»óÀ» ¿©ÀüÈ÷ À¯ÁöÇϸ鼭 ¹é¸¸ºÐÀÇ 1¹ÌÅÍ ÀÌÇÏÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ» ȹµæÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÕ´Ï´Ù. ¿É¼Ç»ç¾çÀÎ HALAR °øÀå ¿µÁ¡Á¶Á¤ ¿É¼ÇÀº Ç¥ÁØ Á¤¹Ðµµ¿Í ¹Ýº¹¼ºÀ» Ãß°¡·Î Áõ´ëÇÏ¿© ÁÝ´Ï´Ù.

¼öÁ÷ motion¿¡ º¸´Ù ¾çÈ£ÇÑ Á¢±Ù¹æ¹ý
¼öÁ÷ ±âÁß Á¢±ÙÀº ÀüÅëÀûÀÎ Z-¸é ÁöÇâÀûÀÎstage¿¡ ´ëÇÑ ´ë¾ÈÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. AVS100/AVSI100 ½Ã¸®Áî stage´Â º¸´Ù î¸ß¾ÀÇ Çü»óÀ» Á¦°øÇÒ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ¸ðµç ¸éÀ¸·ÎºÎÅÍ ÇÏÁßÀÌ ½±°Ô Á¢±ÙÇÏ¿© Áý´Ï´Ù. ±×¸®°í, º£¾î¸µ¿¡ °ÉÄ£ ÇÏÁßÀ» Áß¾ÓÀ¸·Î ¸ð¾Æ¼­, ±Øº¹ÇØ¾ß ÇÒ ÄµÆ¿·¹¹ö È¿°ú°¡ ÀüÇô ¾ø½À´Ï´Ù. ¿¬±¸ºÐ¾ß¿Í »ê¾÷ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ µ¿ÀÏÇÏ°Ô ¸ÂÃçÁ®, AVS100/AVSI100 ½Ã¸®Áî stage´Â ÀüÅëÀûÀÎ X-Y-Z ½Ã½ºÅÛ¿¡ ´ëÇÑ °ø°£Àý¾àÀûÀÎ ´ë¾ÈÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¿É¼ÇÀ¸·Î¼­ Áø°ø 󸮸¦ Æ÷ÇÔÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ È¯°æ¿¡ ´ëÀÀÇÏ´Â stage ÈÄ󸮰¡ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

Ãß°¡ Ç¥ÁØ Æ¯¼º
¸ðµç AVS100/AVSI100 ½Ã¸®Áî stage´Â integral limit ½ºÀ§Ä¡, ±â°èÀûÀÎ °­Á¦Á¤Áö°¡ Ç¥ÁØÀ¸·Î ÀåÂøµË´Ï´Ù. Stage Å×ÀÌºí »óºÎ¸éÀº ½ºÅ©·¹Ä¡¿¡ °­ÇÏ°í °ÅÄ£ ȯ°æ¿¡¼­ÀÇ ¿ì¼öÇÑ ³»¼ºÀ» Á¦°øÇÏ°íÀÚ Å×ÇÁ·Ð-ÁÖÀÔ hardcoating(Rockwell °æµµ°è 62) 󸮵˴ϴÙ. stage ÀÚü´Â Èæ»ö »êÈ­ÇǸ· 󸮸¦ ÇÕ´Ï´Ù.


 


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
299/19,133