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AVS100/AVSI100
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

긴 수명의 linear 가이드 베어링 시스템

백만분의 1미터보다 작은 수치의 closed-loop positioning

저-비용 고성능 stage

6, 13, 그리고 25nm 이송 모델

정밀바닥 볼스크류

필수 또는 脫去 가능한 모터




에어로텍의 AVS100/AVSI100 시리즈 stage는 수평면위로 상승하는 아주 작은 점진적인 움직임을 요구하는 적용분야에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 작은 형상과 정밀한 motion 용량 특성으로 반도체 웨이퍼 검사와 시험, 광섬유 조립과 검사, 자동화 공구 정열, 기계 vision 검사시스템 및 레이저 가공 등의 응용분야에 이상적입니다.

AVSI100 시리즈 stage는 보다 더 작은 footprint내에서 AVS100 stage와 동일한 성능을 제공합니다. AVSI100은 모터 부착이 전혀 없이 드라이브 스크류와 모터를 직접 통합하는데, 이렇게 함으로서 stage를 상당히 짧게 하여 줍니다.

우수한 성능을 제공하는 품질 설계
수직면에서의 AVS100/AVSI100의 정밀한 부하상승은 움직이는 쇄기형 설계로 이뤄집니다. 정밀 가공된 쇄기 블록은 정밀 바닥 ball screw에서 나온 수평 움직임을 AVS100/AVSI100 시리즈의 테이블 상부면의 수직 상승으로 전환합니다.

Wiper로 봉합처리된 linear motion 가이드 베어링은 우수한 하중 용량과 긴 수명, 그리고 부드럽고 정밀한 motion을 통합적으로 제공합니다. 플랫폼의 진동과 수평의 편차를 완전히 제거하여 안정적이고 평행한 수직 motion을 보장합니다.

쇄기 각도의 신중한 설계와 베어링 시스템은 AVS100/AVSI100 시리즈가 콤팩트한 형상을 여전히 유지하면서 백만분의 1미터 이하의 분해능을 획득할 수 있게 합니다. 옵션사양인 HALAR 공장 영점조정 옵션은 표준 정밀도와 반복성을 추가로 증대하여 줍니다.

수직 motion에 보다 양호한 접근방법
수직 기중 접근은 전통적인 Z-면 지향적인stage에 대한 대안을 제공합니다. AVS100/AVSI100 시리즈 stage는 보다 低上의 형상을 제공할 뿐만 아니라, 모든 면으로부터 하중이 쉽게 접근하여 집니다. 그리고, 베어링에 걸친 하중을 중앙으로 모아서, 극복해야 할 캔틸레버 효과가 전혀 없습니다. 연구분야와 산업 응용분야에 동일하게 맞춰져, AVS100/AVSI100 시리즈 stage는 전통적인 X-Y-Z 시스템에 대한 공간절약적인 대안을 제공합니다. 옵션으로서 진공 처리를 포함하여 다양한 환경에 대응하는 stage 후처리가 가능합니다.

추가 표준 특성
모든 AVS100/AVSI100 시리즈 stage는 integral limit 스위치, 기계적인 강제정지가 표준으로 장착됩니다. Stage 테이블 상부면은 스크레치에 강하고 거친 환경에서의 우수한 내성을 제공하고자 테프론-주입 hardcoating(Rockwell 경도계 62) 처리됩니다. stage 자체는 흑색 산화피막 처리를 합니다.


 


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