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리프트 스테이지

Vertical-Lift Nanopositioners

에어로텍의 리프트 스테이지 나노포지셔너는 ANT95-V ANT130-V를 포함합니다. 그들은 실험실이나 연중 무휴 제조 환경에서 동일하게 설계되었습니다. 이러한 크로스 롤러 베어링, 엣지 스타일 다이렉트 드라이브 리프트 스테이지 둘 다 높은 분해능 ( ANT95-V 1nm, ANT130-V 2nm), 뛰어난 정위치 안정성 ( ANT95-V <1nm, ANT130-V <2nm), ±200nm 정확도를 제공합니다. ANT130-V 5mm의 이동구간 및 3.0kg까지의 부하를 제공하는 반면, ANT95-V 3mm의 이동구간 및 1.5kg까지의 부하를 제공합니다.

우수한 정확도, 위치 반복도, 정위치 안정도는 높은 시스템 분해능을 요구합니다. ANT95-V ANT130-V 극히 예외적인 최소 증분 단계 사이즈는 이러한 높은 수준의 성능을 제공합니다. 높은 품질에 의한 훌륭한 정위치 안정도, 안티 크립 크로스 롤러 베어링은 제품의 수명 동안 사실상 관리가 필요 없는 작동을 가능하게 합니다. 에어로텍의 다이렉트 드라이브 기술은 이력현상 또는 백래시가 없고, 정확하고 반복적인 나노미터 규모 모션을 가능하게 합니다.

에어로텍의 나노포지셔너는 독립형 단위 또는 에어로텍의 자체 컨트롤러 및 드라이브를 포함하여 완전한 위치 패키지로 제공받습니다.

ANT95-3-V Series Linear Motor Vertical Lift Stage ANT130-5-V Series Linear Motor Vertical Lift Stage

에어로텍의 ANT 시리즈 스테이지는 세계의 첫 수백미터 이동구간의 나노미터급 위치 시스템입니다. ANT95-V 및 ANT95-V-PLUS는 리니어 모터 구동 엣지 타입의 수직 리프트 스테이지입니다. 스테이지는 뛰어난 다축 성능을 위해 ANT95부류에서 다른 스테이지와 균일하게 통합되도록 설계되었고, 두 급의 정확성을 제공받습니다.

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에어로텍의 ANT 시리즈 스테이지는 세계의 첫 수백미터 이동구간의 나노미터급 위치 시스템입니다. ANT130-V 및 ANT130-V-PLUS는 리니어 모터 구동 엣지 타입의 수직 리프트 스테이지입니다. 스테이지는 뛰어난 다축 성능을 위해 ANT95부류에서 다른 스테이지와 균일하게 통합되도록 설계되었고, 두 급의 정확성을 제공받습니다.

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1 nm step plot for ANT95-3-V



2 nm step plot for ANT130-5-V

Max Travel
3 mm
Accuracy ?2 ?m
Speed
75 mm/s
Load
1.5 kg
Max Travel
5 mm
Accuracy ?200 nm
Speed
75 mm/s
Load
3.0 kg

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