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에어베어링 스테이지

에어로텍의 에어베어링 목록은 고정밀 모션 제어와 위치결정 시스템 설계에 대해 가지고 있는 30년 이상의 경험지식의 결산물입니다.
에어로텍의 브러시리스 리니어 서보 모터로 구동되는 에어 베어링은 반도체 장비, 광섬유분야, 광학분야, 그리고 다른 중요한 산업자동화 응용분야에 완벽하게 적용됩입니다.

에어로텍 에어 베어링은 수직 및 수평면 모두에 능동형 예압을 걸어줍니다. 대립하는 박막의 압력은 베어링의 미세한 간극을 허용치로 유지시킵니다. 넓은 표면적에 부하를 분산시키는 에어 베어링의 넓은 표면과 함께, 이러한 디자인은 무거운 또는 급격한 부하에 이상적인 우수한 견고성을 보여줍니다. 독자적인 제조기술로 탁월한 기하학적 특성들을 가진 에어 베어링을 만들고 있습니다.

에어 베어링은 성과를 극대화하는 고유의 평균효과를 갖습니다. 박막 필름은 작은 표면의 틈과 다른 불규칙적인 것들을 채워 우수한 피치(pitch), 롤(roll), 요(yaw), 그리고 직선도와 평편도 사양을 만들어 줍니다.

 


 

 
 
ABL1500-B
ABL1000 에어베어링 스테이지ABL1500 에어베어링 스테이지ABL1500-B 에어베어링 스테이지

ABL1000 시리즈 Stage는 적용 가능한
최고 성능의 소형 에어 베어링 스테이
지입니다. 에어로텍은 30년 이상의 모
션 제어와 위치결정시스템 경험, 최신
의 기술을 결합하여 아주 우수한 소형
리니어 에어베어링 스테이지를 생산하
고 있습니다.


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반도체와 데이터 저장 산업과 같은 첨
단산업의 제조에는 전통적인 볼스크류
와 기계-베어링 타입의 위치 결정 시스
템에서의 성능을 뛰어넘는 위치 결정
허용치를 요구합니다. ABL1500은 완전
능동형 예압과 대단히 높은 견고성, 그
리고 탁월한 기하학적 특성으로서 이러
한 요구를 만족시키기 위해 구체적으로
설계되었습니다.


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ABL1500-B는 ABL의 제외적인 성능을
지속하지만, 높은 수준의 환경 보호를
제공하기 위하여 필수적인 벨로즈 시
스템을 사용합니다. 이 시스템은 연마
잔해와 같은 오염을 발생시키는 과정
으로부터 에어 베어링 및 드라이브 시
스템을 보호합니다
.


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ABL1500WB-B

 

ABL1500WB 에어베어링 스테이지ABL1500WB-B 에어베어링 스테이지ABL2000 에어베어링 스테이지

ABL1500WB는 ABL1500시리즈 에어베
어링 스테이지의 광폭 베이스 버전입
니다. 더 넓은 베이스는 ABL1500WB가
큰 오프셋 부하 응용분야에 이상적으로
알맞게 만들고, 더 낮은 축으로써 큰 이
동거리가 있는 XY 스테이지 시스템에
이상적입니다. ABL1500WB는 이중 리
니어 모터를 포함하고, 표준 ABL1500스
테이지의 산출력을 효율적으로 결합합
니다
.

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ABL1500WB-B는 ABL1500시리즈 에어
베어링 스테이지의 광폭 베이스 환경
보호 버전입니다.
더 넓은 베이스는 ABL1500WB-B가 큰
오프셋 부하 응용분야에 이상적으로 알
맞게 만들고, 더 낮은 축으로써 큰 이동
거리가 있는 XY스테이지 시스템에 이상
적입니다. ABL1500WB-B는 이중 리니어
모터를 포함하고, 표준 ABL1500 스테이
지의 산출력을 효율적으로 결합합니다.


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ABL2000은 인쇄, 인화, 광섬유 분야에
서 필요로 하는 탁월한 속도 제어로 뛰
어난 피치/요(pitch/yaw) 특성을 결합
시켰습니다.


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ABL3600 에어베어링 스테이지

ABL8000 에어베어링 스테이지

ABL9000 에어베어링 스테이지

ABL3600 이중-축, 대구경, 개방형
프레임, 에어베어링 스테이지는 스캐닝
현미경과 마스크 및 웨이퍼 검사의 독
특한 수요를 목표로 합니다.

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ABL8000은 고성능 응용분야의 수요에

대응하기 위해 소개되었습니다. 반도체

와 데이터 저장 산업과 같은 첨단산업
의 제조에는 전통적인 볼 스크류와 기
계-베어링 타입의 위치결정 시스템 성
능을 뛰어넘는 위치결정 허용치를 요구
합니다.


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ABL9000은 간단히 말해 세계 최고성
능의 에어베어링입니다. 웨이퍼, FPD,
그리고 광 검사와 제작 등 정확성을
요구하는 수요에 대응하고자 설계된
ABL9000은 성능의 새로운 표준을 세
웠습니다.

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AHL9000 리니어 모터 스테이지

Planar HD 에어베어링 스테이지

 

AHL9000은 에어로텍 에어베어링 스테
이지의 가장 최신기종으로, 가격과 성
능의 신중한 균형이 필요한 적용분야에
서 탁월한 선택이 될 것입니다. 이 스테
이지는 우수한 Step과 검사성능을 요구
하는 적용분야의 수요에 맞추고자 설계
되었으며, 웨이퍼 검사, FPD 제작, 그리
고 광 검사 및 제작 등의 분야에 적용됩
니다.


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Planar HD 에어베어링스테이지는 2 m/s
의 스캔속도와 5g까지의 가속도를 제공
함으로서 처리량을 최대화하고자 특별히
설계되었습니다. 에어베어링의 견고성을
향상시키고 이동무게를 줄이는 고도의
공학적인 기계구조를 활용하고 있습니다.
또한, 동력중심과 무게중심의 위치를 동
기화하여 처리량을 감소시키는 에러모션
을 생성하는 기생기력을 제거합니다.


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