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나노 공학

주요 산업별 전문성

디스크 드라이브 제조
섬유 정렬
광학 지연 요소 액추에이션
센서 테스트
스캐닝
연구 개발
MEMS
정부, 교육 기관, 산업 연구소


고객 목표를 달성

고성능 나노 포지셔닝 시스템의 목표 - 높은 동적 성능, 높은 정밀도, 높은 분해능, 사용하기 쉬운 소프트웨어 -을 달성하기 위해, 역학, 자기학, 전자 공학, 컴퓨팅, 디지털 컨트롤 시스템 및 전기 기계 시스템 공학 분야에서 1970년부터 쌓아온 풍부한 경험을 활용하여 나노 기술 산업의 현재와 미래의 요구 사항을 충족하는 제품을 개발했습니다. 에어로텍의 고유한 다이렉트 드라이브, 긴 이송의 나노 포지셔너는 최대 160 mm의 이동량을 유지하면서도 나노 미터 또는 서브 초 각도의 정밀도를 필요로하는 분야로 연구소와 산업분야에 적절합니다. QNP 시리즈 피에조 나노 포지셔너는 최대 이동량이 600 μm의 높은 위치 결정 대역폭은 서브 나노미터의 위치결정 분해능과 정위치 안정성을 제공합니다.

정밀함을 다하는

다이렉트 드라이브 나노포지셔닝 스테이지 제품은 분해능 1 nm, 정밀도 ± 250 nm, 이동량 25 ~ 160 mm의 단축 또는 2축 리니어 나노 포지셔너가 장착되어 있습니다. 회전 나노 포지셔너는 0.01 초 각 분해능과 0.005 초 각도 정위치 안정성, 360° 연속 회전을 실현합니다. 나노 포지셔닝 고니오미터는 0.05 초 각도의 분해능과 20° 회전 각도 및 1초 당 150 °의 속도를 제공합니다. 또한 최대 1 nm의 분해능과 1nm 미만의 정위치 안정성 및 최대 60 mm의 이동량을 가진 수직 리프트 및 Z축 나노포지셔닝 스테이지도 개발했습니다.

Aerotech는 X, XY Z 축 압전 나노 포지셔너를 현미경 검사에서 광학 정렬에 이르기까지 다양한 용도에 적합한 폐쇄 루프 또는 개방 루프 버전에서 제공합니다. QNP 피에조 스테이지는 유한 요소 해석을 이용하여 최적화 된 정밀한 굴곡 동작에 따라 움직이고, 높은 강성과 내구성을 보장합니다. 0.15 nm의 위치 분해능 최대 0.007 %의 선형성 및 최대 1 nm의 반복 정밀도를 실현하는 고유의 용량 센서 설계의 closed-loop 피드백을 사용합니다. 이동량은 closed-loop가 100 ~ 500 μm, open-loop가 100 ~ 600 μm입니다. 

성공에 대한 열정

나노 포지셔닝 스테이지는 자체 개발 한 첨단 기술을 활용하여 최고 수준의 포지셔닝 성능을 달성합니다. 작은 공간에서 작은 크기의 제품은 고정밀 위치 결정, 디스크 드라이브 제조, 섬유 정,렬 광학 지연 요소 액추에이터, 센서 테스트, 현미경 검사 및 검사 과정 등 부드럽고 정확한 움직임을 필요로하는 많은 분야에서 명확한 혜택을 제공하는 당사의 고유 기술을 탑재하고 있습니다. 진공 대응 버전의 스테이지도 이용가능합니다. 또한 전체 패키지로 스테이지, 컨트롤 / 드라이브, 그리고 사용의 용이성과 최대한의 기능성 / 효율성을 겸비한 뛰어난 소프트웨어도 제공하고 있습니다. 고객의 나노 포지셔닝의 분야가 무엇이든, 에어로텍은 그것을 성공시키는 지식과 기술, 제품, 그리고 지원을 제공 할 수 있습니다.

Brochure Cover 

 

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