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리니어 XY 스테이지

Dual-Axis Linear Nanopositioners

에어로텍의 2축 리니어 나노포지셔너는 ANT95-XY및 ANT130-XY를 포함합니다. 이러한 크로스 롤러 베어링, 다이렉트 드라이브 2축 리니어 스테이지 둘 다 1nm 분해능, <1nm 정위치 안정성, ±250nm의 2차원 정확성을 제공합니다. ANT130-XY이 60, 110, 160mm의 이동구간 및 12kg까지 부하를 제공하는 반면에 ANT95-XY는 25 x 25 또는 50 x 50 mm의 이동구간 및 4.0 또는 6.0 kg의 부하를 제공합니다. 그들은 실험실이나 연중 무휴 제조 환경에서 동일하게 설계되었습니다.

우수한 정확도, 위치 반복도, 정위치 안정도는 높은 시스템 분해능을 요구합니다. ANT95-XY및 ANT130-XY 1nm 최소 증분 단계 사이즈는 이러한 높은 수준의 성능을 제공합니다. 높은 품질에 의한 훌륭한 정위치 안정도, 안티 크립 크로스 롤러 베어링은 제품의 수명 동안 사실상 관리가 필요 없는 작동을 가능하게 합니다. 에어로텍의 다이렉트 드라이브 기술은 이력현상 또는 백래시가 없고, 정확하고 반복적인 나노미터 규모 모션을 가능하게 합니다.

에어로텍의 나노포지셔너는 독립형 단위 또는 에어로텍의 자체 컨트롤러 및 드라이브를 포함하여 완전한 위치 패키지로 제공받습니다.

ANT95-XY NanoTranslation, Two Axis,
Crossed-Roller Bearing Linear Stage
ANT95-XY-ULTRA NanoTranslation, Two Axis,
Mechanical Bearing Linear Stage
nanotechnology nanotechnology

에어로텍의 나노이동 (ANT) 크로스롤러 베어링, 리니어 모터, 이중축 스테이지는 최신 출시제품으로서 ANT 시리즈 스테이지의 혁명을 이어나가고 있습니다. ANT95-XY와 ANT94-XY-H는 3개의 구성품으로 이뤄진 디자인으로, 2차원(X 및 Y)의 이동을 가능하게 합니다. 산뜻한 디자인은 단 60mm라는 극도의 저상형 제품을 공급합니다. 스테이지는 고유의 다이렉트드라이브 모터 기술의 결과이며, 비접촉 리니어 엔코더, 리미트, 통합 배선관리시스템 및 2개 등급의 정확도를 제공합니다.

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에어로텍의 ANT95-XY-ULTRA는 XY응용분야에 대해 긴 이동구간(50mm x 50mm까지) 나노포지셔너입니다. 각 축은 코킹이 없고 “0”백래시 모션에 대해 에어로텍의 유일한 다이렉트 드라이브뿐만 아니라 크로스 롤러 베어링 사용합니다. 또한, 각 스테이지는 필적할 수 없는 나노미터 분해능, 정확성, 반복성을 이루기 위해서 2차원 보정을 받습니다.

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1 nm Best-In-Class Resolution
linear tables

1 nm step plot for ANT95-XY

1 nm Best-In-Class Resolution
linear tables

1 nm step plot for ANT95-XY-ULTRA

Max Travel
25 x 25 or 50 x 50 mm
Accuracy
±250 nanometers
Speed
500 mm/s
Load
6.0 kg
Max Travel
25 x 25 or 50 x 50 mm
Accuracy
±250 nanometers
Speed
500 mm/s
Load
6.0 kg
ANT130-XY NanoTranslation, Two Axis,
Crossed-Roller Bearing Linear Stage
ANT130-XY-ULTRA NanoTranslation, Two Axis,
Mechanical Bearing Linear Stage

ANT130-XY 크로스롤러 베어링, 리니어 모터, dual축 스테이지는 ANT시리즈 스테이지의 진화를 계속합니다. ANT130-XY와 ANT130-XY-H는 3개의 구성품으로 이뤄진 설계로, 2차원(X와 Y)의 이동을 가능하게 합니다. 유선형의 설계는 60 x 60 mm, 110 x 110 mm와 160 x 160 mm를 포함하는 이송거리 옵션에서 단 85mm라는 극도의 낮은 프로파일을 제공합니다.

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에어로텍의 ANT130-XY-ULTRA는 XY응용분야에 대해 긴 이동구간(160mm x 160mm까지) 나노포지셔너입니다. 각 축은 코킹이 없고 “0”백래시 모션에 대해 에어로텍의 유일한 다이렉트 드라이브뿐만 아니라 크로스 롤러 베어링 사용합니다. 또한, 각 스테이지는 필적할 수 없는 나노미터 분해능, 정확성, 반복성을 이루기 위해서 2차원 보정을 받습니다.

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1 nm Best-In-Class Resolution


1 nm step plot for ANT130-XY

1 nm Best-In-Class Resolution


1 nm step plot for ANT130-XY-ULTRA

Max Travel
60, 110, 160 mm
Accuracy ±250 nanometers
Speed
350 mm/s
Load
12 kg
Max Travel
60, 110, 160 mm
Accuracy ±250 nanometers
Speed
350 mm/s
Load
12 kg

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