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리프트와 Z 스테이지

에어로텍 리프트 stage는 여러분의 적용분야에 이상적인 솔루션을 제공하기 위해 direct drive 또는 lead-screw 기반의 기계와 함께 사용됩니다. 이 stage는 콤팩트 footprints를 가지고 2nm의 분해능과 최대 25mm의 이동거리가 특징이며, 폭넓은 positioning 적용분야를 위해 디자인되었습니다.


에어로텍의 ANT95 시리즈 스테이지
는 다중 mm 이송거리를 가진 세계
첫 nm급 위치결정 시스템입니다.
ANT95-3-V 및 ANT95-3-V-PLUS는 리
니어 모터 구동 쐐기형 수직 이송 스
테이지입니다. 이 스테이지는 뛰어난
다축 성능을 위해 ANT95 류의 다른
스테이지에 균일하게 결합되도록 설
계되었습니다.


Travel
3 mm
Velocity
75 mm/s
Load
1.5 kg


Vertical Lift Stage

ANT-130-5-V 시리즈 수직 이송
스테이지
 

에어로텍의 ANT130시리즈 스테이지
는 다중 mm 이송거리를 가진 세계
첫 nm급 위치결정 시스템입니다.
ANT130-5-V 및 ANT130-5-V-PLUS는
리니어 모터 구동 쐬기형 수직 이송 스
테이지입니다. 이 스테이지는 뛰어난
다축 성능을 위해 ANT130 류의 다른
스테이지에 균일하게 결합되도록 설
계되었습니다
.

Travel
5 mm
Velocity
75 mm/s
Load
3.0 kg

Vertical Lift Stage

AVL1000 수직 이송 스테이지 

AVL1000는 높은 측면과 회전 견고함
을 달성하기 위해 고 견고성 베어링이
장착된 쐐기 설계를 사용하고 있습니
다. AVL1000의 모두 구성 요소는 연중
무휴로 산업 환경에서 동작하는데 선
택됩니다. 그리고, 스크류 또는 피에조
기반의 수직 이송 스테이지와 달리
AVL1000은 유지보수가 필요 없고, 년
간 문제가 없는 동작을 보장할 것입니
다.


Travel
2 mm
Velocity

5 mm/s

Load
50 kg
vertical alignment stage

WaferMax Z 수직 이송 스테이지

WaferMax Z는 1대의 콤팩트 팩키지
내에서 고-정밀 구성요소를 수직 정렬
하는 기술에서의 비약적인 약진을 보
여줍니다. 자체의 우수한 비접촉 리니
어 모터 구동은 직접 위치 피드백을 위
하여 고-정밀 엔코더를 채택하고 있습
니다.


Travel
5 mm
Velocity

4 mm/s

Load
10 kg
Vertical Lift Stage

AVS1000 수직 이송 스테이지

에어로텍의 AVS1000시리즈 스테이
지는 수평면위로 상승하는 크거나 무
거운 부하 움직임을 요구하는 응용분
야에 이상적인 솔루션을 제공합니다.
낮은 형상과 정밀 모션 용량은 이 스
테이지가 반도체 제조 및 시험, 자동
화 공구 정렬, 기계 비젼 검사시스템,
레이저 가공 응용분야에 이상적입니
다.


Travel
5 mm or 10 mm
Velocity
20 mm/s
Load
135 kg

Vertical Lift Stage

AVS100/AVSI100 수직 이송 스테이지

에어로텍의 AVS100/AVSI100 시리즈
스테이지는 수평면위로 상승하는 아주
작은 점진적인 움직임을 요구하는 적
용분야에 이상적인 솔루션을 제공합니
다. 작은 형상과 정밀한 모션 용량 특성
으로 반도체 웨이퍼 검사와 시험, 광섬
유 조립과 검사, 자동화 공구 정렬, 기계
비전 검사 시스템 및 레이저 가공 등의
응용분야에 이상적입니다.


Travel
6, 13, 25 mm
Velocity

50 mm/s

Load
25 kg
linear table

ANT95-L-Z 수직 전환 스테이지

ANT95시리즈 스테이지는 25mm보다
더 큰 이송거리를 가진 세계 첫 nm급
위치결정 시스템입니다. ANT95-L-Z 및
ANT95-L-Z-PLUS 크로스롤러 스테이지
는 속도, 가속도, 정확도, 해상도, 반복
도, 신뢰도, 크기를 결합하여 동급에서
가장 뛰어나고, 두 개의 정확도 등급으
로 제공됩니다. 유명한 ANT스테이지류
의 발전으로 이 리니어 스테이지는 에
어로텍의 첫 ANT시리즈 세대를 넘어선
향상된 모션 성능을 보입니다.


Max Travel
50 mm
Accuracy
±300 nm
Load
5.0 kg
linear table

ANT130-L-Z 수직 전환 스테이지

ANT130시리즈 스테이지는 25mm보
다 더 큰 이송거리를 가진 세게 첫 nm
급 위치결정 시스템입니다.
ANT130-L-Z 및 ANT130-L-Z-PLUS 크
로스롤러 스테이지는 속도, 정확도,
해상도, 반복도, 신뢰도, 크기를 결합
하여 동급에서 가장 뛰어나고, 두 개의
정확도 등급으로 제공됩니다. 유명한
ANT스테이지류의 발전으로 이 리니어
스테이지는 에어로텍의 첫 ANT시리즈
세대를 넘어선 향상된 모션 성능을 보
입니다.


Max Travel
60 mm
Repeatability
±300 nm
Load
10 kg


ABL1500Z 에어베어링, 리니어 모터
수직 이송 스테이지


ABL1500Z는 ABL1500시리즈 에어베
어링 스테이지의 수직 이송 버전입니
다. ABL1500Z는 극도의 정확성이 요
구되는 큰 오프셋 부하 응용분야에 이
상적으로 알맞습니다.






Travel
50, 100, 150, 200 mm
Velocity
300 mm/s
Load
15 kg

Vertical Lift Stage

Airlift 115 에어베어링 수직 이송
스테이지


에어로텍의 에어리프트 115 시리즈 이
송거리 전체에서 극도의 단단한 각도
성능을 유지하는 동안 매우 엄격한 Z방
향 위치결정이 요구되는 응용분야를 위
해 이상적인 해결책을 제공합니다.
이러한 응용분야는 반도체 웨이퍼 점검
과 검사, 비접촉 계측학, 광학 검사 시스
템 그리고 레이저 가공 응용분야를 포함
합니다
.

Travel
50, 100, 150 mm
Velocity
50 mm/s
Load
15 kg


VTS300 수직 전환 스테이지

에어로텍의 VTS300은 부하 450kg
(1000lb)까지 정확하게 위치하고, 작은
부피는 공간 제약 응용분야에 높은 부
하 위치를 가능하게 합니다. 전형적
응용분야 범위는 단계적이고, 큰 동력
세대에 위치합니다. 다수 구성 단위는
lift 및 tip/tilt모션으로 결합될 수 있습
니다.


Travel
50, 100, 150, 200 mm
Velocity
5 mm/s
Load
450 kg

.


애니모션텍 홈페이지에 오신 것을 환영합니다.
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