ABL2000
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¿ÏÀü ¿¹¾Ð Air Bearing

À̵¿°Å¸® ÃÖ´ë 1.2m

¸®´Ï¾î ¿£ÄÚ´õ ¶Ç´Â ·¹ÀÌÀú °£¼·°è(interferometer)¿¡ ÀÇÇÑ Çǵå¹é

¿Ïº®ÇÑ ºñÁ¢ÃË ¼³°è

Ź¿ùÇÑ ¼Óµµ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» À§ÇÑ Ultra Smooth Design


 


ABL2000Àº Àμâ, ÀÎÈ­, ±¤¼¶À¯ ºÐ¾ß¿¡¼­ ÇÊ¿ä·Î Çϴ Ź¿ùÇÑ ¼Óµµ Á¦¾î·Î ¶Ù¾î³­ ÇÇÄ¡/¿äÀ×(pitch/yaw) Ư¼ºÀ» °áÇÕ½ÃÄ×½À´Ï´Ù.

 

Air Bearing µðÀÚÀÎ
¸¶±×³×ƽ ¿¹¾Ð¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿©, ABL2000Àº ºÎÇÏ ¿ë·®À» ¶³¾î¶ß¸®Áö ¾ÊÀ¸¸é¼­ ÀüÇüÀûÀÎ Air Bearing stage º¸´Ù ÀÛÀº Ⱦ´Ü¸é(cross-section)À» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. µ¶ÀÚ Á¦Á¶±â¼úÀº ŸÀÇ ÃßÁ¾À» ºÒÇãÇÑ ÇÇÄ¡(pitch), ·Ñ(roll), ±×¸®°í ¿ä(yaw) Ư¼ºÀ» °¡Áø stage·Î ³ªÅ¸³³´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ÃÖ½ÅÀÇ »ý»ê¼³ºñ¿¡¼­ Á¦À۵Ǿî, ABL2000Àº ±âÁ¸ÀÇ ¹æ¹ýÀ¸·Î´Â ȹµæÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ ¾ö°ÝÇÑ Çã¿ë¿ÀÂ÷·Î °¡°øµË´Ï´Ù.

 

Linear ¸ðÅÍ µå¶óÀ̺ê
ÀÌ stageÀÇ ¹è°æ¿¡´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ BLMC ½Ã¸®Áî Brushless Linear Servo Motor°¡ ÀÖ´Ù. ¸ðÅÍ Á¦Á¶»ç·Î¼­ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ±ä ¿ª»ç¿Í °æÇèÀÌ ÀÌ µðÀÚÀο¡ ¹Ý¿µµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. BLMC´Â Ironless Forcer¸¦ »ç¿ëÇϴµ¥ Zero cogging°ú Ùí-ÀηÂ(no attractive forces)À¸·Î ÀÎÇØ ºñÇÒ µ¥ ¾øÀÌ ¿øÈ°ÇÑ ¸ð¼ÇÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ³ôÀº °­µµ¿Í ¼Óµµ¸¦ ³¾ ¼ö ÀÖ¾î, BLMC´Â ÆÄ¿ö¿Í ¼º´ÉÀÇ ÃÖ°íÀÇ Á¶ÇÕÀ̶ó°í ºÒ¸®¾îÁý´Ï´Ù. Ùí-¸¶Âû stage¿Í Zero cogging ¸ðÅÍ·Î, ±ØµµÀÇ Á¤±³ÇÑ ºÐÇØ´É(³ª³ë ¹üÀ§)À»
¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

Zero Maintenance
¿ì¸®ÀÇ ¿Ïº®ÇÑ ºñÁ¢ÃË½Ä ¿¡¾îº£¾î¸µ(Air Bearing), ºñÁ¢ÃË½Ä ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ µå¶óÀ̺ê, ±×¸®°í ºñÁ¢ÃË Çǵå¹é Àåºñ´Â ¿¡¾î·ÎÅØ Àåºñ¿¡¼­ ±â´ëµÇ´Â ³ôÀº ¼º´É¼öÁØ ÇÏ¿¡¼­ ´Ù³â°£ÀÇ À¯Áöº¸¼ö°¡ ÇÊ¿ä ¾ø½À´Ï´Ù. À̵¿¿ä¼Ò °£ ±â°èÀûÀÎ Á¢ÃËÀÌ ÀüÇô ¾ø±â ¶§¹®¿¡, ABL1500Àº ½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¸¥ ¼º´É °¨¼Ò³ª ¸¶¸ð°¡ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. ¼­ºñ½º ±â°£Àº »ç½Ç ¹«ÇÑÁ¤ÀÌ°í À±È°ÁÖÀ¯°¡ ¾ø±â ¶§¹®¿¡(¿ÀÁ÷ ûÁ¤ÇÑ µå¶óÀÌ °¡½º¸¸ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù) ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)Àº Å©¸°·ë°ú ÀÇ·áºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀ¸·Î Àû¿ëµË´Ï´Ù.

 

¹è¼± °ü¸®
¿À·£ ±â°£ÀÇ ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÅëÇØ »ê¾÷¿¡¼­ÀÇ ÃÖ°íÀÇ ¹è¼±°ü¸®½Ã½ºÅÛ(CMS)¸¦ ¸¸µé¾î ³Â½À´Ï´Ù. ´Ù³â°£ÀÇ Maintenance Free¸¦ º¸ÀåÇϱâ À§ÇØ ¹è¼± °î·ü¹Ý°æÀ» ½ÅÁßÀ» ±âÇÏ¿© ÃÖÀûÈ­ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¸¸ÀÇ Çϳª ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÑ °æ¿ì, °¡µ¿Áß´Ü ½Ã°£À» ÃÖ¼ÒÈ­Çϱâ À§ÇØ ¹è¼±±³Ã¼°¡ ½Å¼Ó ¿ëÀÌÇϵµ·Ï ¸ðµâ µðÀÚÀÎÀÌ µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ÃÖÁ¾ ½Ã½ºÅÛ¿¡ °áÇÕÀÌ ¿ëÀÌÇϵµ·Ï ¿ì¸®ÀÇ CMS(¹è¼±°ü¸®½Ã½ºÅÛ)¿¡ °í°´ÀÌ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ¸ðµç ¹è¼±, °ø±â È£½º, µîÀ» Æ÷ÇÔ½ÃÄ×½À´Ï´Ù. ¾çÂÊ ³¡ ´ÜÀº °í°´ ±â°è¿¡ °£´ÜÈ÷ ºÎÂøÀÌ µÇµµ·Ï ¿ÏÀüÈ÷ Ä¿³ØÅÍ Ã³¸®µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ³ôÀº À¯¿¬¼ºÀÇ ¸®º»ÄÉÀÌºí ¹öÀüµµ »ç¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù
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¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
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