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리니어 스테이지

 

Single-Axis Linear Nanopositioners

에어로텍의 단축 리니어 나노포지셔너는 ANT95-L및 ANT130-L을 포함합니다. 이러한 크로스 롤러 베어링, 다이렉트 드라이브 리니어 스테이지 둘 다 1nm 분해능, <1nm 정위치 안정성, 250nm 정확성을 제공합니다. ANT130-L이 35, 60, 110, 160mm의 이동구간 및 12kg까지의 부하를 제공하는 반면에 ANT95-L은 25 또는 50mm의 이동구간 및 5.0또는 7.0kg의 부하를 제공합니다. 그들은 실험실이나 연중 무휴 제조 환경에서 동일하게 설계되었습니다.

우수한 정확도, 위치 반복도, 정위치 안정도는 높은 시스템 분해능을 요구합니다. ANT95-L및 ANT130-L 1nm 최소 증분 단계 사이즈는 이러한 높은 수준의 성능을 제공합니다. 높은 품질에 의한 훌륭한 정위치 안정도, 안티 크립 크로스 롤러 베어링은 제품의 수명 동안 사실상 관리가 필요 없는 작동을 가능하게 합니다. 에어로텍의 다이렉트 드라이브 기술은 이력현상 또는 백래시가 없고, 정확하고 반복적인 나노미터 규모 모션을 가능하게 합니다.

에어로텍의 나노포지셔너는 독립형 단위 또는 에어로텍의 자체 컨트롤러 및 드라이브를 포함하여 완전한 위치 패키지로 제공받습니다.

ANT95-L NanoTranslation, Crossed-Roller Bearing
Linear Stage
ANT130-L NanoTranslation, Crossed-Roller Bearing
Linear Stage
nanotechnology nanotechnology motion control

에어로텍의 나노이동 (ANT95-L, ANT95-L-H) 크로스롤러 스테이지는 속도, 정확도, 분해능, 반복정밀도 및 사이즈를 결합하였으며 2개 등급의 정확도를 제공합니다. 꾸준히 인기를 얻고 있는 ANT 스테이지 품목의 혁신제품으로서, 이러한 리니어 스테이지는 에어로텍의 일세대 ANT 시리즈 제품을 능가하는 향상된 모션성능을 시현하고 있습니다. 5g 가속도, 500mm/s 속도, 향상된 부하용량, 그리고 표준화된 만능 베이스 마운팅 패턴과 같이 향상된 제품성능은 전단계 제품 대비 훨씬 광범위한 영역의 조합성에 이러한 유연한 스테이지 제품군의 사용을 가능하게 합니다.

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ANT130-L 시리즈 스테이지는 속도, 정확도, 분해능, 반복정밀도, 신뢰성, 이동영역에서 최고 등급의 성능을 제공하는 제품으로서 2개 등급의 정확도를 제공합니다. 저상의 형태와 탁월한 성능특성을 가지고서, ANT130-L은 고도의 정확한 정열, 검사, 포지셔닝, 그리고 측정기기를 위한 최상의 솔루션 제품입니다.

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1 nm Best-In-Class Resolution
linear tables

1 nm step plot for ANT95-L

1 nm Best-In-Class Resolution


1 nm step plot for ANT130-L

Max Travel
25, 50, 75, 100 mm
Accuracy
dia. 250 nanometers
Speed
500 mm/s
Load
7.0 kg
Max Travel
35, 60, 110, 160 mm
Accuracy
dia. 250 nanometers
Speed
350 mm/s
Load
12.0 kg


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