AHL9000
특징 | 사양

 

 에어 베어링 스캔 축; 기계 베어링 스텝 축

듀얼 리니어 모터 구동의 스텝 축

이동거리 1.2m * 1.2m

Linear 엔코더 또는 레이저 간섭계(interferometer)에 의한 피드백

  

 

 

 

AHL9000은 에어로텍 Air Bearing stage의 가장 최신기종으로, 가격과 성능의 신중한 균형이 필요한 적용분야에서 탁월한 선택이 될 것입니다. 이 stage는 우수한 step과 검사성능을 요구하는 적용분야의 수요에 맞추고자 설계되었으며, 웨이퍼 검사, FPD 제작, 그리고 光 검사 및 제작 등의 분야에 적용됩니다.

 

하이브리드 베어링 디자인
AHL9000의 Scan축은 ABL9000 평면 에어 베어링을 위해 개발된 검증된 에어 베어링(Air Bearing) 기술을 사용하여 설계되었습니다. 이축은 우수한 견고성과 기동성을 위하여 수직 및 수평표면 모두에 능동형 예압을 사용합니다. 또한, AHL9000은 step 축에 기계베어링을 사용하여 비용-효율성의 이점을 얻습니다. 이렇게 하나의 stage에 두 베어링 기술을 조합하여 step과 Scan 작업에 최적의 시스템을 제공합니다.

 

Linear 모터 드라이브
이 stage의 배경에는 에어로텍의 BLMC 시리즈 Brushless Linear Servo Motor가 있습니다. 모터 제조사로서 에어로텍의 긴 역사와 경험이 이 디자인에 반영되어 있습니다. BLMC는 Ironless Forcer를 사용하는데 Zero cogging과 無-인력(no attractive forces)으로 인해 비할 데 없이 원활한 모션을 보여줍니다. 높은 강도와 속도를 낼 수 있어, BLMC는 파워와 성능의 최고의 조합이라고 불리어집니다.

높은 성능
모든 AHL9000 시리즈에 백만 분의 1이하의 반복 정도를 가진 비접촉 리니어 엔코더가 표준사양으로 제공됩니다. 표준 정밀도와 직선도의 추가 향상과, 훨씬 더 정밀한 요잉(yaw) 사양을 위해 옵션으로 2D 공장 눈금조정(factory calibration)이 가능합니다.

 

배선 관리
다년간의 Maintenance Free를 보장하기 위해 배선 곡률반경을 신중을 기하여 최적화하였습니다. 만의 하나 문제가 발생한 경우, 가동중단 시간을 최소화하기 위해 배선교체가 신속 용이하도록 모듈 디자인이 되어 있습니다. 최종 시스템에 결합이 용이하도록 우리의 CMS(배선관리시스템)에 고객이 필요로 하는 모든 배선, 공기 호스, 등을 포함시켰습니다. 양쪽 끝 단은 고객 기계에 간단히 부착이 되도록 완전히 커넥터 처리되어 있습니다


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