Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > ÇÇ¿¡Á¶ ³ª³ëÆ÷Áö¼Å³Ê
QNP-XY Series
°³¿ä | »ç¾ç | ¿ÜÇüµµ | Ç°¸íº¸´Â ¹ý

 

 

  • ÀÌ¼Û °¡´É ¹üÀ§ 100¥ìm ~ 600¥ìm
  • °íÁ¤¹Ð, ¹«¸¶Âû ±¼°î °¡ÀÌµå ½Ã½ºÅÛ
  • 0.15nm ±îÁöÀÇ À§Ä¡°áÁ¤ ºÐÇØ´É°ú 0.007% ±îÁöÀÇ 
       
    Á÷¼±¼º, 2nm ±îÁöÀÇ ¹Ýº¹µµ 
  • Open-loop ¹× Áø°ø ¹öÀü
  •  

    ¿¡¾î·ÎÅØ ÇÇ¿¡Á¶ ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´×ÀÇ QNP ½Ã¸®Áî´Â ¼ÒÇüÀÇ °í°­µµ ÆÐÅ°Áö ¾È¿¡¼­ ³ª³ë¹ÌÅÍ ´ÜÀ§ ÀÌÇÏÀÇ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ´Ù¾çÇÑ À̼۰Ÿ®(100 ¥ìm ºÎÅÍ 600 ¥ìm ±îÁö)¿Í Çǵå¹é ¿É¼ÇµéÀº Çö¹Ì°æºÎÅÍ ±¤ÇÐ Á¶Á¤¿¡ °ÉÄ£ ¹üÀ§ÀÇ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦ À§ÇÑ ÀÌ»óÀûÀÎ ÇØ°áÃ¥À» ¸¸µì´Ï´Ù.

    ¼ÒÇü ÆÐÅ°Áö·Î °íÇ°Áú ±¸Çö

    QNP ÇÇ¿¡Á¶ ½ºÅ×ÀÌÁöµéÀº °í°­¼º°ú ±ä Á¦Ç°¼ö¸íÀ» º¸ÁõÇϱâ À§ÇÑ À¯ÇÑ ¿ä¼Ò ºÐ¼®¹ý¿¡ ÀÇÇØ ÃÖÀûÈ­µÈ Á¤¹ÐÇÑ ±¼°î¿¡ ÀÇÇØ À¯µµµË´Ï´Ù. ±× °á°ú, ¼³°è´Â °í¼Ó °øÁ¤ ó¸®¿Í ºü¸¥ closed-loop ÀÀ´ä¼ºÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ´Â ¶Ù¾î³­ °­¼º°ú °ø¸íÁÖÆļö¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ÅëÇÕµÈ XY ÆÐÅ°Áö´Â ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ ³ôÀÌ¿Í À̵¿Áú·®À» ÃÖ¼ÒÈ­ÇÏ°í, ¶Ù¾î³­ °íÁ¤Àû, ¿ªµ¿Àû ´ÙÃà ÆÛÆ÷¸Õ½º¸¦ ¸¸µé¾î ³À´Ï´Ù.

    °íºÐÇØ´É°ú À§Ä¡°áÁ¤ Á¤È®µµ

    ¸ðµç QNP ÇÇ¿¡Á¶ ½ºÅ×ÀÌÁöµéÀº ³ôÀº Á÷¼±¼º°ú ³ª³ë¹ÌÅÍ ´ÜÀ§ ÀÌÇÏÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ´Â µ¶Æ¯ÇÑ Á¤Àü¿ë·®Çü ¼¾¼­ ¼³°è¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â Closed Loop Çǵå¹é ¿É¼ÇÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ Á¤Àü¿ë·®Çü ¼¾¼­µéÀº ¶Ù¾î³­ Á¤¹Ðµµ¿Í ¹Ýº¹µµ¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ´Â À§Ä¡°áÁ¤ ¿î¹Ý´ëÀÇ Ãâ·ÂÀ» Á÷Á¢ÀûÀ¸·Î ÃøÁ¤ÇÕ´Ï´Ù. 

    ÃÊÁ¤¹Ð Á¦¾î

    ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Q ½Ã¸®Áî ÄÁÆ®·Ñ·¯µé°ú µå¶óÀ̹öµéÀÌ °áÇյǾúÀ» ¶§, QNP ÇÇ¿¡Á¶ ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× ½ºÅ×ÀÌÁöµåÀº ³ª³ë¹ÌÅÍ ´ÜÀ§ ÀÌÇÏÀÇ À§Ä¡°áÁ¤ ºÐÇØ´É°ú Á¤À§Ä¡ ¾ÈÁ¤¼º(ÁöÅÍ), ±×¸®°í ³ôÀº À§Ä¡°áÁ¤ ´ë¿ªÆøÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Dynamic Controls Toolbox¿Í Motion Designer ÆÐÅ°Áö¿Í °°Àº ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ¿É¼ÇµéÀº Çâ»óµÈ ÃßÀû ¿¡·¯¿Í ´õ ºü¸¥ ÀÌ¼Û ¹× Á¤Âø ½Ã°£À» Á¦°øÇÏ´Â Learning Control, Harmonic Cancellation, ±×¸®°í Command Shaping µî Çâ»óµÇ¾úÀ¸¸é¼­µµ »ç¿ëÇϱ⠽¬¿î ´Ù¼öÀÇ µµ±¸µéÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

    ÀÚµ¿ ÃøÁ¤ ¹× ±³Á¤ ½Äº°Àº ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ FlashConfig¸¦ »ç¿ëÇÔÀ¸·Î½á ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ÄÁÆ®·Ñ·¯¿¡ ¾÷·Îµå µÈ ¾ÈÁ¤¼º, Á¤È®¼º°ú Ãæ½ÇÇÑ¡°plug-and-play¡±¿î¿µÀ» º¸ÀåÇÏ´Â Ãà ±³Á¤ µ¥ÀÌÅ͸¦ Æ÷ÇÔÇÏ´Â ¸ðµç ¿îÀü ÆĶó¹ÌÅ͸¦ ÀÚµ¿ÀûÀ¸·Î ½Äº°ÇÕ´Ï´Ù.

    ¼³°è À¯¿¬¼º

    ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ QNP ÇÇ¿¡Á¶ ½ºÅ×ÀÌÁöµéÀº Á¤Àü¿ë·® ¼¾¼­ Çǵå¹é°ú ÇÔ²² »ç¿ëÇϰųª, ¶Ç´Â Çǵå¹é ¾øÀÌ(Open Loop) »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Open Loop´Â ÀÛÀº Å©±â, °í°¡¼Ó, ³ª³ë¹ÌÅÍ ´ÜÀ§ ÀÌÇÏÀÇ À§Ä¡°áÁ¤ ºÐÇØ´ÉÀÌ ¿ä±¸µÇ¸é¼­µµ Àý´ëÀûÀÎ À§Ä¡°áÁ¤ Á¤¹Ðµµ¿Í ¹Ýº¹µµ´Â ÇÊ¿äÇÏÁö ¾ÊÀº ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ °æºñ Àý°¨ ¿É¼ÇÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. Open-loop ¼³°è´Â ¿ÜºÎ Çǵå¹é ¼Ò½º¸¦ ÅëÇØ Á¦¾îµÇ´Â ÇÇ¿¡Á¶ À§Ä¡¿¡µµ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù(°£¼·°è, ºñÀü½Ã½ºÅÛ, ±¤°ËÃâ±â µî).

    ¼±Åà °¡´ÉÇÑ °íÁ¤ Ç÷¹ÀÌÆ®´Â ÀÎÄ¡ ´ÜÀ§ ¶Ç´Â ¹ÌÅÍ ´ÜÀ§ÀÇ ºê·¹µåº¸µå ±¤ÇÐ Å×ÀÌºí¿¡ Á÷Á¢ °íÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. QPN ½Ã¸®Áî´Â ÀϹÝÀûÀÎ À̵¿ ¾î´ðÅÍ¿Í ÇÔ²² ÀåÂøµÈ XY¿Í Z ½ºÅ×ÀÌÁöµéµµ Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù.

    ¶ÇÇÑ ¸ðµç QNP ÇÇ¿¡Á¶ ½ºÅ×ÀÌÁöµéÀº ¿äû¿¡ µû¶ó Áø°øó¸®µÈ ¹öÀüÀ¸·Î »ç¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.


    ¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
    257/19,091