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QNP-XY Series
개요 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

 

 

  • 이송 가능 범위 100μm ~ 600μm
  • 고정밀, 무마찰 굴곡 가이드 시스템
  • 0.15nm 까지의 위치결정 분해능과 0.007% 까지의 
       
    직선성, 2nm 까지의 반복도 
  • Open-loop 및 진공 버전
  •  

    에어로텍 피에조 나노포지셔닝의 QNP 시리즈는 소형의 고강도 패키지 안에서 나노미터 단위 이하의 성능을 제공합니다. 다양한 이송거리(100 μm 부터 600 μm 까지)와 피드백 옵션들은 현미경부터 광학 조정에 걸친 범위의 응용분야를 위한 이상적인 해결책을 만듭니다.

    소형 패키지로 고품질 구현

    QNP 피에조 스테이지들은 고강성과 긴 제품수명을 보증하기 위한 유한 요소 분석법에 의해 최적화된 정밀한 굴곡에 의해 유도됩니다. 그 결과, 설계는 고속 공정 처리와 빠른 closed-loop 응답성을 가능하게 하는 뛰어난 강성과 공명주파수를 제공합니다. 또한, 통합된 XY 패키지는 스테이지의 높이와 이동질량을 최소화하고, 뛰어난 고정적, 역동적 다축 퍼포먼스를 만들어 냅니다.

    고분해능과 위치결정 정확도

    모든 QNP 피에조 스테이지들은 높은 직선성과 나노미터 단위 이하의 분해능을 가능하게 하는 독특한 정전용량형 센서 설계를 사용하는 Closed Loop 피드백 옵션을 가지고 있습니다. 이 정전용량형 센서들은 뛰어난 정밀도와 반복도를 가능하게 하는 위치결정 운반대의 출력을 직접적으로 측정합니다. 

    초정밀 제어

    에어로텍의 Q 시리즈 컨트롤러들과 드라이버들이 결합되었을 때, QNP 피에조 나노포지셔닝 스테이지드은 나노미터 단위 이하의 위치결정 분해능과 정위치 안정성(지터), 그리고 높은 위치결정 대역폭을 보여줍니다. 에어로텍의 Dynamic Controls Toolbox와 Motion Designer 패키지와 같은 소프트웨어 옵션들은 향상된 추적 에러와 더 빠른 이송 및 정착 시간을 제공하는 Learning Control, Harmonic Cancellation, 그리고 Command Shaping 등 향상되었으면서도 사용하기 쉬운 다수의 도구들을 제공합니다.

    자동 측정 및 교정 식별은 에어로텍의 FlashConfig를 사용함으로써 수행할 수 있습니다. 스테이지는 컨트롤러에 업로드 된 안정성, 정확성과 충실한“plug-and-play”운영을 보장하는 축 교정 데이터를 포함하는 모든 운전 파라미터를 자동적으로 식별합니다.

    설계 유연성

    에어로텍의 QNP 피에조 스테이지들은 정전용량 센서 피드백과 함께 사용하거나, 또는 피드백 없이(Open Loop) 사용할 수 있습니다. Open Loop는 작은 크기, 고가속, 나노미터 단위 이하의 위치결정 분해능이 요구되면서도 절대적인 위치결정 정밀도와 반복도는 필요하지 않은 응용분야에 경비 절감 옵션을 제공합니다. Open-loop 설계는 외부 피드백 소스를 통해 제어되는 피에조 위치에도 사용될 수 있습니다(간섭계, 비전시스템, 광검출기 등).

    선택 가능한 고정 플레이트는 인치 단위 또는 미터 단위의 브레드보드 광학 테이블에 직접 고정할 수 있습니다. QPN 시리즈는 일반적인 이동 어댑터와 함께 장착된 XY와 Z 스테이지들도 포함합니다.

    또한 모든 QNP 피에조 스테이지들은 요청에 따라 진공처리된 버전으로 사용 가능합니다.


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